中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范

Code for design of electronic industry clean room

GB 50472-2008

主編部門：中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部

批準(zhǔn)部門：中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部
施行日期：2 0 0 9 年 7 月 1 日

中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部公告
第200號(hào)
關(guān)于發(fā)布國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》的公告

現(xiàn)批準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，編號(hào)為GB 50472-2008，自2009年7月1日起實(shí)施。其中，第3．2．5、4．3．3(1)、5．4．2、 5．5．6、 6．2．1、 6．2．6、 6．2．7、 6．2．8、 6．2．9、6．3．1、 7．1．6、 7．5．1、 7．5．3(1、2、4、5、6、7、8)、 7．5．4、 7． 5． 6、7．6．1、 7．7．2、 7．7．7(2、3)、 8．3．1、 8．3．2、 8．5．1、 8．5．2(1)、8．5．3(3)、 9．2． 3(3、4、5)、 10． 1 5、 10． 1． 6、 10． 1． 7(2、3)、10．1．8(1、3、4)、 10．2． 5、 10． 2． 6、 10． 4． 2、 10． 4． 3(1、2、3)、10．4．5、 11．2．1(1、2、3、5、6、7、8)、 11．2．2、 11． 2． 3、 11． 2． 5、11．3．1、 12．1．8、 12．2．3(1)、 12．2．4、 12．3．2、 12．3．4(1、3)、12．3．6、12．3．7、12．3．8、12．4．4、13．2．1(2、3)、13．3．4條(款)為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。
本規(guī)范由我部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國(guó)計(jì)劃出版社出版發(fā)行。

前言

      本規(guī)范是根據(jù)建設(shè)部“關(guān)于印發(fā)《2005年工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范制訂、修訂計(jì)劃(第二批)》的通知”(建標(biāo)函〔2005〕124號(hào))的要求，由中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院會(huì)同有關(guān)單位編制完成的。
      本規(guī)范在編制過(guò)程中，編制組結(jié)合我國(guó)電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)建造和運(yùn)行的實(shí)際情況，進(jìn)行了廣泛的調(diào)查研究，收集整理相關(guān)的專題報(bào)告、測(cè)試資料，認(rèn)真總結(jié)多年來(lái)電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)建造和運(yùn)行方面的經(jīng)驗(yàn)，廣泛征求了國(guó)內(nèi)有關(guān)單位的意見(jiàn)，最后經(jīng)審查定稿。
      本規(guī)范共分15章和4個(gè)附錄。主要內(nèi)容有：總則、術(shù)語(yǔ)、電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)要求、總體設(shè)計(jì)、工藝設(shè)計(jì)、潔凈建筑設(shè)計(jì)、空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計(jì)、給水排水設(shè)計(jì)、純水供應(yīng)、氣體供應(yīng)、化學(xué)品供應(yīng)、電氣設(shè)計(jì)、防靜電與接地設(shè)計(jì)、噪聲控制、微振控制等。
      本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。
      本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對(duì)強(qiáng)制性條文的解釋，由中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院負(fù)責(zé)具體內(nèi)容的解釋。本規(guī)范在執(zhí)行過(guò)程中，希望各有關(guān)單位結(jié)合工程實(shí)踐，認(rèn)真總結(jié)經(jīng)驗(yàn)，若發(fā)現(xiàn)需要修改和補(bǔ)充之處，請(qǐng)將意見(jiàn)和有關(guān)資料寄至中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》管理組(地址：北京市海淀區(qū)萬(wàn)壽路27號(hào)，郵政編碼：100840，傳真：010—68217842，E-mail．xiao—hongmei@ceedi．com．cn)，以供今后修改時(shí)參考。
      本規(guī)范主編單位、參編單位和主要起草人：
      主編單位：中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院
      參編單位：信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院有限公司 上海電子工程設(shè)計(jì)研究院有限公司 深圳市電子院設(shè)計(jì)有限公司 中國(guó)電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司 北京中瑞電子系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)院
      主要起草人：陳霖新 秦學(xué)禮 晁陽(yáng) 張利群 王唯國(guó) 侯憶 穆京祥 趙海 高艷敏 王毅勃 肖紅梅 李杰 李錦生 路振福 章光護(hù) 鄒英杰 鐘景華 牛光宏 張曉敏 周志剛 陳騮 焦明偉

       以下規(guī)范內(nèi)容由合景凈化工程公司m.i364x9.cn進(jìn)行整理編輯

1 總 則

1．0．1 為在電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)中，做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)適用、安全可靠、節(jié)約資源、降低能耗、確保質(zhì)量，并符合勞動(dòng)衛(wèi)生和環(huán)境保護(hù)的要求，制定本規(guī)范。

1．0．2 本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建的電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)。

1．0．3 電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足需潔凈環(huán)境的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)根據(jù)具體情況為今后產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展或生產(chǎn)工藝改進(jìn)的需要預(yù)留條件。

1．0．4 電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)應(yīng)為施工安裝、調(diào)試檢測(cè)和安全運(yùn)行、維護(hù)管理創(chuàng)造必要的條件。

1．0．5 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)除應(yīng)執(zhí)行本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

2 術(shù) 語(yǔ)

2．0．1 潔凈室 clean room

      空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。

2．0．2 潔凈區(qū) clean zone
      空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子?？臻g內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制?？梢允情_(kāi)放式或封閉式。

2．0．3 人員凈化用室 room for cleaning human body
      人員在進(jìn)入潔凈室(區(qū))之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。

2．0．4 物料凈化用室 room for cleaning material
      物料在進(jìn)入潔凈室(區(qū))之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。

2．0．5 粒徑 partical size
      由給定的粒子尺寸測(cè)定儀響應(yīng)當(dāng)量于被測(cè)粒子等效的球體直徑。對(duì)離散粒子計(jì)數(shù)、光散射儀器采用當(dāng)量光學(xué)直徑。

2．0．6 懸浮粒子 airborne particles
      用于空氣潔凈度分級(jí)的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0．1～5μm的固體和液體粒子。

2．0．7 含塵濃度 particle concentration
      單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。

2．0．8 潔凈度 cleanliness
      以單位體積空氣某粒徑粒子的數(shù)量來(lái)區(qū)分的潔凈程度。

2．0．9 空態(tài) as-built
      設(shè)施已經(jīng)建成，所有動(dòng)力接通并運(yùn)行，但無(wú)生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員。

2．0．10 靜態(tài) at-rest
      設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝，并按業(yè)主及供應(yīng)商同意的狀態(tài)運(yùn)行，但無(wú)生產(chǎn)人員。

2．0．11 動(dòng)態(tài) operational
      設(shè)施以規(guī)定的狀態(tài)運(yùn)行，有規(guī)定的人員在場(chǎng)，并在商定的狀況下進(jìn)行工作。

2．0．12 氣流流型 air pattern
      室內(nèi)空氣的流動(dòng)形態(tài)和分布。

2．0．13 單向流 unidirectional airflow
      沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流。包括垂直單向流和水平單向流。

2．0．14 非單向流 non-unidirectional airflow
      凡不符合單向流定義的氣流。

2．0．15 混合流 mixed airflow
      單向流和非單向流組合的氣流。

2．0．16 潔凈工作區(qū) clean working area
      指潔凈室內(nèi)離地面高度0．8～1. 5m(除工藝特殊要求外)的區(qū)域。

2．0．17 空氣吹淋室 airshower
      利用高速潔凈氣流吹落并清除進(jìn)入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室。

2．0．18 氣閘室 airlock
      設(shè)置在潔凈室出入口，阻隔室外或相鄰房間的污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。

2．0．19 傳遞窗 passbox
      在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的開(kāi)口。兩側(cè)窗扇的開(kāi)啟應(yīng)進(jìn)行聯(lián)鎖控制。

2．0．20 潔凈工作服 clean working garment
      為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最低程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。

2．0．21 高效空氣過(guò)濾器 (HEPA)high efficiency particulate air filter
      在額定風(fēng)量下，最易穿透粒徑法的效率在99．95％以上及氣流初阻力在220Pa以下的空氣過(guò)濾器。

2．0．22 超高效空氣過(guò)濾器 (ULPA)ultra low penetration air filter
      在額定風(fēng)量下，最易穿透粒徑法的效率在99．9995％以上及氣流初阻力在250Pa以下的空氣過(guò)濾器。

2．0．23 微環(huán)境 minienvironment
      將產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程與操作人員、污染物進(jìn)行嚴(yán)格分隔的隔離空間。

2．0．24 風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組 fan filter unit(FFU)
      由HEPA或ULPA與風(fēng)機(jī)組合在一起，構(gòu)成自身可提供動(dòng)力的末端空氣凈化的裝置。

2．0．25 自凈時(shí)間 cleanliness recovery characteristic
      潔凈室被污染后，凈化空調(diào)系統(tǒng)開(kāi)始運(yùn)行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級(jí)的時(shí)間。

2．0．26 技術(shù)夾層 technical mezzanine
      潔凈廠房中以水平構(gòu)件分隔構(gòu)成的空間，用于安裝輔助設(shè)備和公用動(dòng)力設(shè)施以及管線等。

2．0．27 技術(shù)夾道 technical tunnel
      潔凈廠房中以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的廊道，用于安裝輔助設(shè)備和公用動(dòng)力設(shè)施以及管線等。

2．0．28 技術(shù)豎井 technical shaft
      潔凈廠房中主要以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的井式管廊，用于安裝輔助設(shè)備和公用動(dòng)力設(shè)施以及管線等。

2．0．29 專用消防口 fire-firing access
      消防人員為滅火而進(jìn)入建筑物的專用入口，平時(shí)封閉，使用時(shí)由消防人員從室外打開(kāi)。

2．0．30 純水 pure water
      雜質(zhì)含量很少的水，其電解質(zhì)雜質(zhì)含量(常以電阻率表征)和非電解質(zhì)雜質(zhì)(如微粒、有機(jī)物、細(xì)菌和溶解氣體等)含量均要求很少的水。

2．0．31 常用氣體 bulk gas
      電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中，廣泛使用的氫氣、氧氣、氮?dú)狻鍤?、氦氣等氣體。

2．0．32 特種氣體 special gas
      電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中，使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、四氯化硅、氯氣等氣體。這些氣體具有可燃、有毒、腐蝕或窒息等特性。

2．0．33 化學(xué)品 chemical
      指電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中使用的酸、堿、有機(jī)溶劑和氧化物等。

2．0．34 防靜電環(huán)境 ESD controlled environment
      具有防止靜電危害的特定環(huán)境，在此環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電或靜電產(chǎn)生后易于泄放或消除，靜電噪聲難以傳播。

2．0．35 表面電阻 surface resistance
      在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過(guò)兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。

3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)要求

3．1 一般規(guī)定

3．1．1 電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時(shí)還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動(dòng)、靜電防護(hù)、照度等參數(shù)要求。

3．1．2 生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進(jìn)行控制。

3．1．3 潔凈室(區(qū))內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程所使用的工具、器具和物料儲(chǔ)運(yùn)裝置，其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇。

3．1．4 潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等性能測(cè)試和認(rèn)證應(yīng)符合本規(guī)范附錄D的要求。

3．2 生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)要求

3．2．1 潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。
潔凈室(區(qū))設(shè)計(jì)時(shí)，空氣潔凈度等級(jí)所處狀態(tài)(空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài))應(yīng)與業(yè)主協(xié)商確定。

3．2．2 各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定；無(wú)要求時(shí)，可按本規(guī)范附錄A確定。

3．2．3 潔凈室(區(qū))的溫度和相對(duì)濕度應(yīng)按表3．2 3確定。

3．2．4 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)所需純水水質(zhì)、氣體及化學(xué)品的純度和雜質(zhì)含量等應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定。

3．2．5 單向流和混合流潔凈室(區(qū))的噪聲級(jí)(空態(tài))不應(yīng)大于65dB(A)，非單向流潔凈室(區(qū))的噪聲級(jí)(空態(tài))不應(yīng)大于60dB(A)。

3．2．6 潔凈室(區(qū))的微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)應(yīng)滿足精密設(shè)備、儀器的振動(dòng)容許值要求。無(wú)要求時(shí)，可按本規(guī)范附錄C或根據(jù)其工作特性確定。

4 總體設(shè)計(jì)

4．1 位置選擇和總平面布置

4．1．1 潔凈廠房位置的選擇，應(yīng)根據(jù)下列要求經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定：
      1 應(yīng)布置在大氣含塵和有害氣體或化學(xué)污染物濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域；
      2 應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場(chǎng)、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體或化學(xué)污染物的工廠、貯倉(cāng)、堆場(chǎng)等有嚴(yán)重空氣污染、振動(dòng)或噪聲干擾或強(qiáng)電磁場(chǎng)的區(qū)域。不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時(shí)，則應(yīng)位于全年最小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)；
      3 在廠區(qū)內(nèi)應(yīng)布置在環(huán)境清潔、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。

4．1．2 潔凈廠房?jī)艋照{(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)口與城市交通干道之間的距離(相鄰側(cè)邊沿)宜大于50m。當(dāng)潔凈廠房與交通干道之間設(shè)有城市綠化帶時(shí)，可根據(jù)具體條件適當(dāng)減少，但不得小于25m。

4．1．3 對(duì)于有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應(yīng)實(shí)際測(cè)定周圍現(xiàn)有振源和模擬振源的影響，并應(yīng)與容許振動(dòng)值比較分析后確定。

4．1．4 廠區(qū)總平面布置時(shí)，應(yīng)按潔凈生產(chǎn)、非潔凈生產(chǎn)、輔助生產(chǎn)、公用動(dòng)力系統(tǒng)和辦公、生活等功能區(qū)合理布局。
潔凈廠房宜根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和各種功能區(qū)的要求，按組合式、大體量的綜合性廠房布置。

4．1．5 潔凈廠房周圍及其周邊的道路面層，應(yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。

4．1．6 潔凈廠房周圍應(yīng)進(jìn)行綠化，但不宜種植對(duì)生產(chǎn)環(huán)境和產(chǎn)品質(zhì)量有影響的植物。

4．1．7 潔凈廠房宜設(shè)置環(huán)行消防車道，若有困難時(shí)可沿廠房的兩長(zhǎng)邊側(cè)設(shè)消防車道。消防車道的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

4．2 潔凈室型式

4．2．1 潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)、空氣潔凈度等級(jí)和布置要求分為隧道式、開(kāi)放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。

4．2．2 電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應(yīng)包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。

4．2．3 潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運(yùn)行費(fèi)用等因素確定，各種空氣潔凈度等級(jí)的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對(duì)空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時(shí)，宜采用微環(huán)境等型式。

4．3 潔凈室布置和綜合協(xié)調(diào)

4．3．1 潔凈廠房的平面布置應(yīng)合理安排潔凈生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和動(dòng)力區(qū)，并應(yīng)符合下列要求：
      1 潔凈室(區(qū))人員凈化、物料凈化和各種輔助用房，應(yīng)合理分區(qū)布置；
      2 生產(chǎn)工藝或生產(chǎn)設(shè)備有特殊要求時(shí)，宜分隔為單獨(dú)的房間；
      3 生產(chǎn)過(guò)程中排放腐蝕性氣體的生產(chǎn)設(shè)備或生產(chǎn)工序應(yīng)分類、集中布置或與其他生產(chǎn)房間分隔；
      4 發(fā)熱量、發(fā)塵量大的生產(chǎn)工序或生產(chǎn)設(shè)備，宜與空氣潔凈度要求嚴(yán)格的房間分隔布置；
      5 潔凈室(區(qū))的輔助設(shè)備、維修間等技術(shù)支持區(qū)，宜集中布置在潔凈室(區(qū))的相鄰房間，技術(shù)支持區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)低于潔凈室(區(qū))的等級(jí)；
      6 若需在潔凈室(區(qū))內(nèi)設(shè)置潔凈電梯時(shí)，應(yīng)采取氣閘間、潔凈送風(fēng)措施；
      7 應(yīng)符合有關(guān)防爆、防火、消防等要求。

4．3．2 潔凈室(區(qū))的空間布置應(yīng)滿足下列要求：
      1 生產(chǎn)設(shè)備、物料運(yùn)輸系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求布置，并應(yīng)做到有效、靈活和操作方便；
      2 各類管線的空間布置應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝、安全間距和維修要求；
      3 終端高效空氣過(guò)濾器、照明燈具和各種公用動(dòng)力設(shè)施的布置，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝、潔凈度等級(jí)、安全生產(chǎn)和維修要求；
      4 潔凈生產(chǎn)層的高度應(yīng)按生產(chǎn)設(shè)備、微環(huán)境裝置和物料運(yùn)輸設(shè)備的外形尺寸確定。技術(shù)夾層高度應(yīng)根據(jù)具體工程要求確定。

4．3．3 潔凈室(區(qū))內(nèi)應(yīng)少分隔，但下列情況應(yīng)予分隔：
      1 按火災(zāi)危險(xiǎn)性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產(chǎn)區(qū)段或房間之間，或有防火分隔要求時(shí)，應(yīng)設(shè)隔墻；
      2 在電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中，經(jīng)常不同時(shí)使用的兩個(gè)生產(chǎn)區(qū)段或房間之間；
      3 生產(chǎn)過(guò)程中排放影響產(chǎn)品質(zhì)量的有害氣體或化學(xué)污染物的工序、設(shè)備，宜分隔設(shè)獨(dú)立房間。

4．3．4 潔凈廠房的布置應(yīng)綜合協(xié)調(diào)生產(chǎn)操作、設(shè)備安裝和維修、公用動(dòng)力管線、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各類技術(shù)設(shè)施的需要。

5 工藝設(shè)計(jì)

5．1 一般規(guī)定

5．1．1 潔凈廠房的工藝設(shè)計(jì)、工藝布局應(yīng)為電子產(chǎn)品發(fā)展以及產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)預(yù)留必要的條件。

5．1．2 潔凈廠房工藝設(shè)計(jì)應(yīng)確定各種生產(chǎn)條件，在滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下，應(yīng)做到安全性能好、建設(shè)投資少、能量消耗少、運(yùn)行費(fèi)用低、生產(chǎn)效率高。

5．1．3 潔凈廠房工藝設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)要求設(shè)置人流路線、物料運(yùn)輸和倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)施。

5．2 工藝布局

5．2．1 潔凈廠房的工藝布置應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設(shè)備的安裝和維修、物料運(yùn)輸?shù)纫蟠_定。
在單向流潔凈室內(nèi)進(jìn)行生產(chǎn)工藝設(shè)備、操作程序、人員流動(dòng)路線和物料傳輸布置時(shí)，應(yīng)采取避免發(fā)生氣流干擾和交叉污染的措施。

5．2．2 工藝布局應(yīng)避免人流和物流之間的混雜和交叉，宜分別設(shè)置人員入口、物料入口和設(shè)備出入口，并應(yīng)在各自的入口處設(shè)置相應(yīng)的凈化設(shè)施。

5．2．3 在滿足生產(chǎn)工藝和微振控制、噪聲控制等要求的前提下，空氣潔凈度嚴(yán)格的潔凈室(區(qū))宜靠近空調(diào)機(jī)房布置；空氣潔凈度等級(jí)相同的工序或工作室宜集中布置。

5．2．4 潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴(yán)格的工序(設(shè)備)應(yīng)遠(yuǎn)離出入口和可能干擾氣流的場(chǎng)所設(shè)置，并宜布置在上風(fēng)側(cè)；易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置或下風(fēng)側(cè)。

5．2．5 工藝布置時(shí)，應(yīng)根據(jù)大型生產(chǎn)工藝設(shè)備的運(yùn)輸、安裝、維修的要求設(shè)置運(yùn)輸通道、安裝口或檢修口。

5．2．6 潔凈廠房?jī)?nèi)不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))之間聯(lián)系頻繁時(shí)，應(yīng)采取防止污染的措施。

5．3 人員凈化

5．3．1 人員凈化用室和設(shè)施應(yīng)根據(jù)潔凈室的規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)設(shè)置，并應(yīng)設(shè)置生活用室。人員凈化用室宜按圖5．3．1的人員凈化程序進(jìn)行布置。

5．3．2 人員凈化用室，應(yīng)根據(jù)換鞋(凈鞋)、更外衣、更潔凈工作服等的需要設(shè)置。雨具存放、廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用房和空氣吹淋室、氣閘室、潔凈工作服洗滌間及干燥間等其他用室，可根據(jù)需要設(shè)置。

5．3．3 潔凈廠房?jī)?nèi)人員凈化用室和生活用室的建筑面積，應(yīng)根據(jù)潔凈室的規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)和潔凈室內(nèi)工作人員數(shù)量等確定，宜按潔凈室(區(qū))內(nèi)設(shè)計(jì)人數(shù)平均2～4㎡／人計(jì)算。

5．3．4 人員凈化用室和生活用房的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 凈鞋設(shè)施應(yīng)設(shè)在潔凈室入口處；
      2 更換外衣和更換潔凈工作服用室不應(yīng)設(shè)置在同一房間內(nèi)；
      3 外衣存放柜應(yīng)按潔凈室(區(qū))內(nèi)設(shè)計(jì)人數(shù)配置；
      4 應(yīng)設(shè)置存放潔凈工作服，且?guī)в锌諝鈨艋拇嬉略O(shè)施；
      5 應(yīng)設(shè)置感應(yīng)式洗手和烘干設(shè)施；
      6 廁所宜設(shè)在進(jìn)入人員凈化用室之前，需設(shè)在人員凈化用室內(nèi)時(shí)，應(yīng)設(shè)置前室。

5．3．5 潔凈廠房空氣吹淋室的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求：
      1 在潔凈室(區(qū))的入口處宜設(shè)空氣吹淋室。當(dāng)不設(shè)空氣吹淋室時(shí)，應(yīng)設(shè)氣閘室；
      2 吹淋室應(yīng)設(shè)在更換潔凈工作服后的相鄰部位；
      3 單人空氣吹淋室，應(yīng)按最大班人數(shù)每30人設(shè)一臺(tái)。潔凈室(區(qū))工作人員超過(guò)5人時(shí)，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)單向旁通門；
      4 空氣吹淋室的進(jìn)、出門不得同時(shí)開(kāi)啟，應(yīng)采取連鎖控制措施；
      5 空氣潔凈度等級(jí)為5級(jí)或嚴(yán)于5級(jí)的垂直單向流潔凈室(區(qū))，宜設(shè)氣閘室。

5．3．6 人員凈化用室和生活用室的空氣潔凈度等級(jí)，宜由外至內(nèi)逐步潔凈，室內(nèi)可送入經(jīng)過(guò)高效空氣過(guò)濾的潔凈空氣。
潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級(jí)宜低于相鄰潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級(jí)；當(dāng)設(shè)有潔凈工作服洗滌室時(shí)，洗滌室的空氣潔凈度等級(jí)宜為8級(jí)。

5．4 物料凈化

5．4．1 潔凈室(區(qū))內(nèi)的設(shè)備和物料出入口，應(yīng)獨(dú)立設(shè)置，并應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的特征、性質(zhì)、形狀等設(shè)置凈化用室及相應(yīng)物凈設(shè)施。

5．4．2 物料凈化用室與潔凈室(區(qū))之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。

5．5 設(shè)備及工器具

5．5．1 潔凈室(區(qū))內(nèi)應(yīng)采用具有防塵、防污染的生產(chǎn)設(shè)備和輔助生產(chǎn)設(shè)備，并應(yīng)符合下列要求：
      1 表面應(yīng)光潔、易清潔、不積塵、不揮發(fā)化學(xué)物質(zhì)；
      2 設(shè)備的傳動(dòng)部件等應(yīng)密封性能好，并應(yīng)防止?jié)櫥?、冷卻劑等的泄漏；
      3 對(duì)生產(chǎn)中發(fā)塵、排熱量大或排出有毒、可燃?xì)怏w的設(shè)備，應(yīng)采取防擴(kuò)散措施；
      4 設(shè)備的金屬外殼應(yīng)設(shè)置接地設(shè)施。

5．5．2 當(dāng)設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))時(shí)，宜采取密封隔斷措施。

5．5．3 潔凈室(區(qū))內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當(dāng)所選設(shè)備超過(guò)潔凈室噪聲容許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲措施。

5．5．4 潔凈室(區(qū))應(yīng)設(shè)置對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程所使用的工器具進(jìn)行凈化處理的設(shè)施。

5．5．5 潔凈室(區(qū))內(nèi)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中各種零、部件存放和傳送，宜采用專用容器。用于存放和傳送的專用容器，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 制作材料應(yīng)光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，并在空氣中不應(yīng)被氧化；
      2 應(yīng)密封性能好；
      3 當(dāng)存放物有嚴(yán)格的潔凈度要求時(shí)，宜充填高純度或干燥氮?dú)猓?/span>
      4 構(gòu)造、外形應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)方便操作和運(yùn)送。

5．5．6 潔凈室(區(qū))內(nèi)設(shè)置真空泵時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 使用油潤(rùn)滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng)；
      2 對(duì)傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵，可燃?xì)怏w濃度超過(guò)爆炸下限的20％時(shí)，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組分；
      3 傳輸易燃、自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮?dú)獯祾?。氮?dú)獯祾呖刂崎y應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。

6 潔凈建筑設(shè)計(jì)

6．1 一般規(guī)定

6．1．1 潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。

6．1．2 潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系。

6．1．3 潔凈廠房的立面設(shè)計(jì)應(yīng)簡(jiǎn)潔、明快，并應(yīng)適應(yīng)潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵、易清潔等要求。

6．1．4 潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境控制設(shè)施協(xié)調(diào)，并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。

6．1．5 設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造，應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動(dòng)化運(yùn)輸和公用動(dòng)力設(shè)施安裝和維修的要求。

6．1．6 設(shè)有技術(shù)夾層、技術(shù)夾道的潔凈廠房，技術(shù)夾層、技術(shù)夾道的建筑設(shè)計(jì)應(yīng)滿足各種風(fēng)管和各種動(dòng)力管線安裝和維修的要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時(shí)，宜設(shè)置技術(shù)豎井。技術(shù)豎井的形式、尺寸和構(gòu)造應(yīng)滿足風(fēng)管、管線的安裝、檢修和防火要求。

6．1．7 對(duì)兼有一般生產(chǎn)區(qū)和潔凈室(區(qū))的綜合性廠房，廠房的平面布局和構(gòu)造處理，宜避免人流、物流運(yùn)輸及防火方面對(duì)潔凈生產(chǎn)環(huán)境帶來(lái)不利影響。

6．1．8 潔凈廠房?jī)?nèi)的通道寬度應(yīng)滿足人員操作、物料運(yùn)輸、設(shè)備安裝和檢修的要求。

6．2 防火和疏散

6．2．1 潔凈廠房的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。
6．2．2 潔凈廠房?jī)?nèi)生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險(xiǎn)性，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。火災(zāi)危險(xiǎn)性分類舉例見(jiàn)本規(guī)范附錄B。

6．2．3 潔凈廠房?jī)?nèi)防火分區(qū)的劃分，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。
丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室(區(qū))，在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備設(shè)有火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01％obs／m的高靈敏度早期火災(zāi)報(bào)警探測(cè)系統(tǒng)后，其每個(gè)防火分區(qū)的最大允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。

6．2．4 潔凈室的上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層和潔凈生產(chǎn)層，當(dāng)按其構(gòu)造特點(diǎn)和用途作為同一防火分區(qū)時(shí)，上下技術(shù)夾層的面積可不計(jì)入防火分區(qū)的建筑面積，但應(yīng)分別采取相應(yīng)的消防措施。

6．2．5 潔凈室的頂棚和墻板、技術(shù)豎井井壁的材質(zhì)選擇，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

6．2．6 在綜合性廠房的一個(gè)防火分區(qū)內(nèi)，潔凈生產(chǎn)區(qū)域與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷設(shè)施。不燃燒體隔斷設(shè)施應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
6．2．7 潔凈廠房的安全出口的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 每一生產(chǎn)層、每個(gè)防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定；
      2 安全出口應(yīng)分散布置，并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志；安全疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。安全疏散用門應(yīng)向疏散方向開(kāi)啟，并應(yīng)設(shè)觀察玻璃窗；
      3 丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房，在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備自帶火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0．01％obs／m的高靈敏度早期火災(zāi)報(bào)警探測(cè)系統(tǒng)后，安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1．5倍。
      注 對(duì)于玻璃基板尺寸大于1500m×1850mm的TFT-LCD廠房，且潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0．02人／㎡，其疏散距離應(yīng)按工藝需要確定，但不得大于120m。

6．2．8 潔凈廠房的潔凈區(qū)各層外墻應(yīng)設(shè)置專用消防口，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 潔凈區(qū)各層專用消防口的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定；
      2 潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動(dòng)門以及裝有柵欄的窗，均不應(yīng)作為專用消防口。
6．2．9 潔凈廠房?jī)?nèi)有爆炸危險(xiǎn)的房間應(yīng)靠建筑外墻布置，且不得與疏散安全口(樓梯間)貼鄰。有爆炸危險(xiǎn)的房間的防爆措施、泄爆面積等應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

6．3 室內(nèi)裝修

6．3．1 潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時(shí)變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級(jí)不應(yīng)大于50，材料的煙密度等級(jí)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗(yàn)方法》GB／T8627的有關(guān)規(guī)定。
6．3．2 潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求；
      1 應(yīng)滿足使用功能的要求，且表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔，并應(yīng)減少凹凸面；
      2 當(dāng)采用踢腳時(shí)，踢腳不宜突出墻面。

6．3．3 潔凈室樓地面設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求
      1 應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和設(shè)備安裝要求；
      2 應(yīng)平整、耐磨、易清潔、不易積聚靜電、避免眩光、不開(kāi)裂、耐撞擊等；
      3 地面宜配筋，并應(yīng)做防潮構(gòu)造。

6．3．4 潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂柵應(yīng)滿足使用功能要求，且表面應(yīng)平整、光滑。位于地下的技術(shù)層或技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。

6．3．5 當(dāng)潔凈廠房設(shè)置外窗時(shí)，應(yīng)采用雙層固定窗，并應(yīng)有良好的氣密性，同時(shí)應(yīng)采取防結(jié)露措施。

6．3．6 潔凈室(區(qū))門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求：
      1 應(yīng)滿足使用功能的要求，構(gòu)造和施工縫隙應(yīng)采取密閉措施；
      2 頂棚以上的技術(shù)層或技術(shù)夾層宜設(shè)檢修通道；
      3 潔凈室(區(qū))不宜設(shè)窗臺(tái)；
4 當(dāng)?shù)孛娌捎没顒?dòng)地板時(shí)，活動(dòng)地板材質(zhì)和支撐方式應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇。

6．3．7 用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室(區(qū))的墻板和頂棚，宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。

7 空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計(jì)

7．1 一般規(guī)定

7．1．1 潔凈廠房?jī)?nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級(jí)，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和潔凈室型式確定。

7．1．2 氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室(區(qū))空氣潔凈度等級(jí)和電子產(chǎn)品工藝特點(diǎn)的不同要求選用。

7．1．3 有下列情況之一者，凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開(kāi)設(shè)置：

      1 運(yùn)行班次或使用時(shí)間不同；

      2 生產(chǎn)過(guò)程中散發(fā)的物質(zhì)對(duì)其他工序、設(shè)備交叉污染，對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響；

      3 對(duì)溫、濕度控制要求差別大；

      4 潔凈室(區(qū))內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊；

      5 凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)；

      6 系統(tǒng)風(fēng)量過(guò)大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。

7．1．4 潔凈室(區(qū))內(nèi)的溫度、相對(duì)濕度應(yīng)符合本規(guī)范第3．2．3條的規(guī)定。

7．1．5 潔凈室(區(qū))內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

7．1．6 潔凈室(區(qū))與周圍的空間應(yīng)保持一定的靜壓差，靜壓差應(yīng)符合下列規(guī)定：

      1 各潔凈室(區(qū))與周圍空間的靜壓差應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定；

      2 不同等級(jí)的潔凈室(區(qū))之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa；

      3 潔凈室(區(qū))與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa；

      4 潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。

7．1．7 潔凈室(區(qū))維持靜壓差值所需的壓差風(fēng)量，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。

7．1．8 送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉聯(lián)鎖、控制要求，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

7．1．9 非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進(jìn)行凈化處理。

7．1．10 潔凈室(區(qū))的清掃方式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)等因素確定。潔凈室(區(qū))宜采用移動(dòng)式高效真空吸塵器。對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)為1～5級(jí)的潔凈室宜設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)，潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道應(yīng)暗敷。

7．2 氣流流型和送風(fēng)量

7．2．1 氣流流型的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求：
      1 氣流流型應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)的要求。空氣潔凈度等級(jí)為1～5級(jí)時(shí)，應(yīng)采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級(jí)為6～9級(jí)時(shí)，宜采用非單向流；
      2 潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和工作人員健康的要求。

7．2．2 潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

7．2．3 潔凈室(區(qū))所需的滿足空氣潔凈度等級(jí)的潔凈送風(fēng)量和氣流流型，宜按表7．2．3計(jì)算。

7．3 凈化空調(diào)系統(tǒng)

7．3．1 潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。
凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定。潔凈室(區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時(shí)，宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)，

7．3．2 潔凈廠房的潔凈室(區(qū))送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)、風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組送風(fēng)等。應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))使用功能和降低能量消耗的要求，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較，采用運(yùn)行經(jīng)濟(jì)、節(jié)約能源的送風(fēng)方式。

7．3．3 凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)的室外吸入口位置，應(yīng)遠(yuǎn)離本建筑或其他建筑物排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口。

7．3．4 多套凈化空調(diào)系統(tǒng)同時(shí)運(yùn)行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)，應(yīng)集中處理。

7．3．5 凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng)，但下列情況不得回風(fēng)：
      1 在生產(chǎn)過(guò)程中向車間內(nèi)散發(fā)的有害物質(zhì)超過(guò)規(guī)定時(shí)；
      2 采用局部處理不能滿足衛(wèi)生要求時(shí)；
      3 對(duì)其他工序有危害或不能避免交叉污染時(shí)。

7．3．6 凈化空調(diào)系統(tǒng)需設(shè)置電加熱時(shí)，應(yīng)選用不產(chǎn)塵的電加熱器，且應(yīng)布置在高效過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè)，并應(yīng)采取安全保護(hù)措施。

7．3．7 凈化空調(diào)系統(tǒng)的電加濕器應(yīng)采取安全保護(hù)措施。

7．3．8 根據(jù)氣象條件，存在冷凍可能的地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)采取防凍保護(hù)措施。

7．4 空氣凈化設(shè)備

7．4．1 空氣過(guò)濾器的選用和布置應(yīng)符合下列要求：
      1 空氣過(guò)濾器應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)選用；
      2 空氣過(guò)濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量；
      3 中效(高中效)空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段；
      4 高效(亞高效)空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；超高效空氣過(guò)濾器應(yīng)設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；
      5 同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過(guò)濾器的阻力、效率應(yīng)相近；
      6 同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過(guò)濾器的使用風(fēng)量與額定風(fēng)量之比值宜相近；
      7 對(duì)化學(xué)污染物有控制要求的潔凈室(區(qū))，在凈化空調(diào)系統(tǒng)中應(yīng)根據(jù)環(huán)境條件設(shè)置化學(xué)過(guò)濾器或其他去除裝置；
      8 高效(亞高效、超高效)空氣過(guò)濾器應(yīng)采用不燃或難燃材料制作。

7．4．2 風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：
      1 應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)和送風(fēng)量選用；
      2 應(yīng)按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對(duì)氣流流型的要求布置；
      3 終阻力時(shí)的疊加噪聲及振動(dòng)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定；
      4 送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié)；
      5 應(yīng)便于安裝、維修及過(guò)濾器更換。滿布或布置率較高時(shí)，外殼強(qiáng)度應(yīng)滿足檢修要求。

7．4．3 層流罩的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：
      1 潔凈室(區(qū))內(nèi)等于或嚴(yán)于5級(jí)的局部?jī)艋瘏^(qū)域宜采用層流罩；
      2 層流罩的形式和進(jìn)風(fēng)方式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝或設(shè)備需要選用；
      3 終阻力時(shí)的疊加噪聲及振動(dòng)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定；
      4 安裝方式不應(yīng)影響生產(chǎn)操作。

7．4．4 微環(huán)境裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：
      1 當(dāng)生產(chǎn)工藝或設(shè)備對(duì)空氣潔凈度等級(jí)、外擾或溫度、相對(duì)濕度有較高要求，且所控區(qū)域不大時(shí)，宜采用微環(huán)境裝置；
      2 微環(huán)境裝置宜與生產(chǎn)工藝設(shè)備配套；
      3 在不影響工藝操作的前提下，應(yīng)具有可靠的密閉性，內(nèi)外表面應(yīng)平整、光滑；
      4 圍擋構(gòu)造、材料的選用應(yīng)方便生產(chǎn)操作。

7．4．5 干表冷器的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：
      1 安裝位置、外形尺寸應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的平面和空間布置確定；
      2 迎面風(fēng)速、結(jié)構(gòu)形式應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))冷負(fù)荷、風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組所提供的機(jī)外余壓確定；
      3 冷凍水進(jìn)水溫度，宜高于潔凈室(區(qū))內(nèi)空氣的露點(diǎn)溫度；
      4 應(yīng)設(shè)置排水設(shè)施。

7．4．6 凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理機(jī)組的選用和布置，應(yīng)符合下列要求：
      1 應(yīng)有良好的氣密性，漏風(fēng)率不得大于1％；
      2 整體結(jié)構(gòu)應(yīng)有足夠的強(qiáng)度和剛度，內(nèi)表面應(yīng)平整、光滑，外表面不應(yīng)結(jié)露；
      3 布置應(yīng)整齊，并應(yīng)便于運(yùn)行和維修；當(dāng)多套空氣處理機(jī)組為同一潔凈室(區(qū))服務(wù)時(shí)，宜選用相同規(guī)格的空氣處理機(jī)組；
      4 送風(fēng)機(jī)宜采取變頻調(diào)速措施。送風(fēng)機(jī)可按凈化空調(diào)系統(tǒng)的總風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇。計(jì)算系統(tǒng)總阻力時(shí)，中效(高中效)、高效(亞高效、超高效)空氣過(guò)濾器的阻力宜按其初阻力的1．5～2．0倍取值；
      5 應(yīng)設(shè)置排水裝置。

7．5 采暖、通風(fēng)

7．5．1 空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于8級(jí)的潔凈室(區(qū))不應(yīng)采用散熱器采暖。

7．5．2 潔凈廠房?jī)?nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備和輔助設(shè)備，應(yīng)設(shè)置局部排風(fēng)裝置，排風(fēng)罩宜為密閉式。局部排風(fēng)系統(tǒng)單獨(dú)設(shè)置的要求，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

7．5．3 潔凈室(區(qū))的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求：
      1)應(yīng)防止室外氣流倒灌；
      2)含有易燃、易爆物質(zhì)的局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)按其物理化學(xué)性質(zhì)采取相應(yīng)防火防爆措施；
      3)局部排風(fēng)系統(tǒng)排出的有害氣體，當(dāng)其有害物質(zhì)濃度超過(guò)排放標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，應(yīng)采取有效處理措施。排氣管高度和排放速率應(yīng)滿足國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)排放標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定；
      4)對(duì)含有水蒸氣或凝結(jié)物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置坡度及排放口；
      5)排風(fēng)介質(zhì)中含有劇毒物質(zhì)時(shí)，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機(jī)和處理設(shè)備，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；
      6)排風(fēng)介質(zhì)中含易燃、易爆等危險(xiǎn)物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時(shí)，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機(jī)，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；
      7)排除有爆炸危險(xiǎn)的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，其風(fēng)量應(yīng)按在正常運(yùn)行和事故情況下，風(fēng)管內(nèi)爆炸危險(xiǎn)氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的20％計(jì)；
      8)排除有爆炸危險(xiǎn)氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置消除靜電的接地裝置。
7．5．4 對(duì)排風(fēng)系統(tǒng)中含有毒性、爆炸危險(xiǎn)性物質(zhì)的排氣管路，應(yīng)保持相對(duì)于路由區(qū)域一定的負(fù)壓值。

7．5．5 凈鞋室、更外衣室、盥洗室和廁所等生產(chǎn)輔助房間，應(yīng)采取通風(fēng)措施。

7．5．6 潔凈室(區(qū))事故排風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 事故排風(fēng)區(qū)域的換氣次數(shù)不應(yīng)小于12次／h；
      2 應(yīng)設(shè)置自動(dòng)和手動(dòng)控制開(kāi)關(guān)，手動(dòng)控制開(kāi)關(guān)應(yīng)分別設(shè)置在潔凈室(區(qū))和潔凈室(區(qū))外便于操作的地點(diǎn)；
      3 應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。

7．6 排 煙

7．6．1 潔凈廠房中的疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機(jī)械排煙設(shè)施。

7．6．2 潔凈廠房排煙設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。當(dāng)同一防火分區(qū)的丙類潔凈室(區(qū))人員密度小于0.02人／㎡，且安全疏散距離小于80m時(shí)，潔凈室(區(qū))可不設(shè)機(jī)械排煙設(shè)施。

7．6．3 機(jī)械排煙系統(tǒng)宜與通風(fēng)、凈化空調(diào)系統(tǒng)分開(kāi)設(shè)置；當(dāng)合用時(shí)，應(yīng)采取防火安全措施，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

7．6．4 機(jī)械排煙系統(tǒng)的風(fēng)量、排煙口位置、風(fēng)機(jī)的設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

7．7 風(fēng)管、附件

7．7．1 凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)吸入管應(yīng)設(shè)置防倒灌裝置；送、回風(fēng)管宜設(shè)置調(diào)節(jié)閥。

7．7．2 凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管的防火閥的設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
含有可燃、有毒氣體或化學(xué)品的排風(fēng)管道，不得設(shè)置熔片式防火閥。

7．7．3 凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管、配件、過(guò)濾器以及密封材料等，應(yīng)根據(jù)輸送空氣的潔凈度要求確定，并不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料。

7．7．4 潔凈室(區(qū))內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管、閥門、附件的制作材料和涂料，應(yīng)根據(jù)排除氣體的物理化學(xué)性質(zhì)及其所處的空氣環(huán)境條件確定，并不得與所輸送介質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)或引起安全事故的發(fā)生。

7．7．5 凈化空調(diào)系統(tǒng)的送、回風(fēng)總管上，應(yīng)采取消聲措施，并應(yīng)滿足潔凈室(區(qū))內(nèi)噪聲控制的要求。潔凈室(區(qū))排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)采取消聲措施，并應(yīng)滿足室內(nèi)外噪聲標(biāo)準(zhǔn)的要求。

7．7．6 在集中設(shè)置的空氣過(guò)濾器的前后，應(yīng)設(shè)置測(cè)壓孔或指針式壓差計(jì)。在新風(fēng)管、送風(fēng)、回風(fēng)總管段上，應(yīng)設(shè)置風(fēng)量測(cè)定孔。

7．7．7 風(fēng)管附件及輔助材料的防火性能，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 凈化空調(diào)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作，但接觸腐蝕性介質(zhì)的風(fēng)管和柔性接頭可采用難燃防腐材料制作；
      2 排煙系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作；
      3 附件、保溫材料和消聲材料等均應(yīng)采用不燃材料或難燃材料。

8 給水排水設(shè)計(jì)

8．1 一般規(guī)定

8．1．1 潔凈廠房的給水排水干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，并宜敷設(shè)在通行的技術(shù)夾層內(nèi)。條件合適時(shí)，也可埋地敷設(shè)。潔凈室(區(qū))內(nèi)管道宜暗裝，與本房間無(wú)關(guān)的管道不應(yīng)穿過(guò)。

8．1．2 穿過(guò)潔凈室的水管道，應(yīng)根據(jù)管內(nèi)水溫和所在房間的溫度、濕度確定隔熱防結(jié)露措施。當(dāng)采取隔熱防結(jié)露措施時(shí)，其外表面應(yīng)光滑、平整。

8．1．3 給水排水管道穿過(guò)潔凈室(區(qū))墻壁、樓板和頂棚時(shí)應(yīng)設(shè)置套管，管道和套管之間應(yīng)采取密封措施。

8．2 給 水

8．2．1 潔凈廠房?jī)?nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各種用途(包括工藝?yán)鋮s水)對(duì)水質(zhì)、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產(chǎn)、生活、消防分別設(shè)置獨(dú)立的給水系統(tǒng)。

8．2．2 當(dāng)設(shè)有危險(xiǎn)化學(xué)品儲(chǔ)存和分配室時(shí)，應(yīng)根據(jù)化學(xué)品的物理化學(xué)性能和人身安全的要求，設(shè)置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應(yīng)環(huán)形敷設(shè)布置。

8．2．3 給水管道的管材及附件的選擇，應(yīng)符合下列要求：
      1 給水系統(tǒng)的管材和附件的選用，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和系統(tǒng)工作參數(shù)的要求；
      2 埋地管道應(yīng)耐腐蝕，并應(yīng)具有承受相應(yīng)地面荷載的能力；
      3 生產(chǎn)設(shè)備循環(huán)冷卻水給水和回水管道，應(yīng)按生產(chǎn)工藝和水質(zhì)要求，采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等，不宜采用焊接鋼管；
      4 閥門及附件應(yīng)采用與管材相同的材質(zhì)。

8．3 排 水

8．3．1 生產(chǎn)、生活排水系統(tǒng)應(yīng)分別設(shè)置。生產(chǎn)排水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備排出的廢水性質(zhì)、污染物濃度和水量等特點(diǎn)確定。有害廢水應(yīng)經(jīng)廢水處理達(dá)到國(guó)家或地方排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。

8．3．2 潔凈室(區(qū))內(nèi)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備相連接的重力排水管道，應(yīng)在排出口以下部位設(shè)置水封裝置。排水系統(tǒng)應(yīng)有完善的通氣系統(tǒng)。

8．3．3 潔凈室(區(qū))內(nèi)地漏等排水設(shè)施的設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

8．3．4 潔凈廠房?jī)?nèi)宜采用不易積存污物、易于清洗的衛(wèi)生設(shè)備。

8．4 雨 水

8．4．1 屋面雨水排水系統(tǒng)應(yīng)確保能迅速、及時(shí)地將屋面雨水排至室外雨水管渠或室外。

8．4．2 屋面雨水排水管道的排水設(shè)計(jì)重現(xiàn)期不宜小于10年。

8．4．3 屋面雨水排水工程應(yīng)設(shè)置溢流口、溢流堰、溢流管系等溢流設(shè)施。屋面雨水排水工程與溢流設(shè)施的總排水能力不應(yīng)小于50年重現(xiàn)期的雨水量。

8．4．4 雨水斗的位置應(yīng)確保雨水斗連接管和懸吊管不穿過(guò)潔凈室(區(qū))。

8．5 消防給水和滅火設(shè)備

8．5．1 潔凈廠房必須設(shè)置消防給水系統(tǒng)。消防給水系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

8．5．2 潔凈廠房消火栓的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定
      1 潔凈室(區(qū))的生產(chǎn)層及上下技術(shù)夾層(不含不通行的技術(shù)夾層)，應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓；
      2 室內(nèi)消火栓的用水量不應(yīng)小于10L／s，同時(shí)使用水槍數(shù)不應(yīng)少于2支，水槍充實(shí)水柱不應(yīng)小于10m，每只水槍的出水量不應(yīng)小于5L／s；
      3 潔凈廠房室外消火栓的用水量不應(yīng)小于15L／s。

8．5．3 潔凈室(區(qū))設(shè)置的固定滅火設(shè)施，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1)設(shè)置的自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50084的有關(guān)規(guī)定。噴水強(qiáng)度不應(yīng)小于8L／min·㎡，作用面積不應(yīng)小于160㎡；
      2)設(shè)置的氣體滅火系統(tǒng)，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《氣體滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50370和《二氧化碳滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50193的有關(guān)規(guī)定，
      3)存放可燃?xì)怏w鋼瓶的特氣柜中應(yīng)設(shè)置自動(dòng)滅火設(shè)施。
8．5．4 潔凈廠房?jī)?nèi)各場(chǎng)所應(yīng)配置滅火器，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑滅火器配置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50140的有關(guān)規(guī)定。

9 純水供應(yīng)

9．1 一般規(guī)定

9．1．1 電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的選擇，應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)水質(zhì)的要求，并結(jié)合系統(tǒng)規(guī)模、材料及設(shè)備供應(yīng)等情況，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定。

9．1．2 純水的輸送干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)；潔凈室(區(qū))內(nèi)的純水支管宜暗裝。

9．1．3 穿越潔凈室(區(qū))墻壁、樓板、頂棚的純水管道應(yīng)設(shè)套管，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。

9．1．4 潔凈室(區(qū))內(nèi)純水管道的保溫材料，不得產(chǎn)生污染物，外表面應(yīng)平整、光滑、易于清潔。

9．2 純水系統(tǒng)

9．2．1 純水系統(tǒng)的設(shè)備配置除應(yīng)滿足所需水量和水質(zhì)的要求外，還應(yīng)滿足運(yùn)行靈活、安全可靠、便于操作管理、運(yùn)行費(fèi)用低等要求。

9．2．2 純水的制備、儲(chǔ)存和輸送設(shè)備，應(yīng)符合電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 純水的制備、終端處理設(shè)備的選型和制造材料的選擇，應(yīng)滿足供水水質(zhì)、終端水質(zhì)的要求；
      2 純水儲(chǔ)罐、輸送設(shè)備的選型和制造材料的選擇，應(yīng)確保水質(zhì)污染少、密封性好，不得有滲氣現(xiàn)象；
      3 純水制備、儲(chǔ)存、輸送設(shè)備應(yīng)有效地防止水質(zhì)降低。

9．2．3 純水系統(tǒng)應(yīng)采用循環(huán)供水方式，宜采用單管式循環(huán)供水系統(tǒng)或設(shè)有獨(dú)立回水管的雙管式循環(huán)供水系統(tǒng)，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 循環(huán)回流水量應(yīng)大于設(shè)計(jì)供水量的30％；
      2 干管流速應(yīng)大于等于1．5m／s；
      3 不循環(huán)支管的長(zhǎng)度不應(yīng)大于管徑的6倍；
      4 干管應(yīng)設(shè)置清洗口；
      5 管道系統(tǒng)必須密封，不得有滲氣現(xiàn)象；
      6 應(yīng)配備在線水質(zhì)檢測(cè)儀表；
      7 對(duì)純水水質(zhì)要求嚴(yán)格的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝，應(yīng)采用雙管式循環(huán)供水系統(tǒng)。

9．2．4 純水系統(tǒng)中與純水直接接觸的設(shè)備表面應(yīng)光潔、平整、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、耐腐蝕、易清洗、易消毒。

9．2．5 用于純水系統(tǒng)的水質(zhì)檢測(cè)設(shè)備、量具、儀表，其連接不應(yīng)使純水水質(zhì)降低，其檢測(cè)范圍和精度應(yīng)符合純水生產(chǎn)和檢驗(yàn)的要求。

9．2．6 純水精處理或終端處理裝置宜靠近用水生產(chǎn)設(shè)備設(shè)置。

9．3 管材、閥門和附件

9．3．1 純水系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用，應(yīng)符合下列要求：
      1 應(yīng)滿足純水水質(zhì)指標(biāo)的要求；
      2 材料的化學(xué)穩(wěn)定性應(yīng)好；
      3 管道內(nèi)壁光潔度應(yīng)好；
      4 不得有滲氣現(xiàn)象。

9．3．2 純水管道的閥門和附件的選用應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 應(yīng)選擇與管道相同的材質(zhì)；
      2 應(yīng)選用密封好、結(jié)構(gòu)合理、無(wú)滲氣現(xiàn)象的閥門；
      3 對(duì)純水的水質(zhì)要求嚴(yán)格的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝用純水系統(tǒng)，應(yīng)采用隔膜閥。

10 氣體供應(yīng)

10．1 一般規(guī)定

10．1．1 潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質(zhì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。

10．1．2 常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)，應(yīng)根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當(dāng)?shù)氐墓鉅顩r等因素，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定。

10．1．3 潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備、儲(chǔ)存、分配系統(tǒng)，除應(yīng)符合本規(guī)范外，還應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016、《氫氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50177和《氧氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50030等的有關(guān)規(guī)定。

10．1．4 潔凈廠房?jī)?nèi)的氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。當(dāng)與水、電管線共架時(shí)，比空氣重的氣體管道宜設(shè)在水、電管線下部，比空氣輕的氣體管道宜設(shè)在水、電管線上部。

10．1．5 潔凈室(區(qū))內(nèi)的可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道應(yīng)明敷，穿過(guò)潔凈室(區(qū))的墻壁或樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。

10．1．6 可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道不得穿過(guò)不使用此類氣體的房間；當(dāng)必須穿過(guò)時(shí)應(yīng)設(shè)套管或雙層管。

10．1．7 高純氣體管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 管徑應(yīng)按氣體容許流量、壓力或生產(chǎn)工藝設(shè)備確定，管外徑不宜小于6mm，壁厚不宜小于1mm，
      2 不得出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死空間，
      3 管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃口和取樣口。

10．1．8 潔凈廠房的可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列安全設(shè)施：
      1）可燃?xì)怏w管道設(shè)置閥門時(shí)應(yīng)設(shè)置閥門箱，閥門箱應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警和事故排風(fēng)裝置，報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)聯(lián)鎖；
      2）接至用氣設(shè)備的支管和放散管，宜設(shè)置阻火設(shè)施；
      3）引至室外的放散管，應(yīng)設(shè)置防雷保護(hù)設(shè)施，
      4）應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。
10．1．9 氣體過(guò)濾器應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)氣體潔凈度的要求進(jìn)行選擇和配置。終端氣體過(guò)濾器應(yīng)設(shè)置在靠近用氣點(diǎn)處。

10．2 常用氣體系統(tǒng)

10．2．1 常用氣體供應(yīng)系統(tǒng)宜在工廠內(nèi)或鄰近處設(shè)置制氣裝置或采用外購(gòu)液態(tài)氣體、瓶裝氣體。

10．2．2 氫氣、氧氣管道的終端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)置放散管。氫氣放散管口應(yīng)設(shè)置阻火器。放散管引至室外，應(yīng)高出本建筑的屋脊1m，并應(yīng)采取防雨、防雜物侵入的措施。

10．2．3 氣體純化裝置的設(shè)置，應(yīng)符合下列要求：
      1 氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇；
      2 氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間(站)內(nèi)。當(dāng)潔凈廠房設(shè)有氣體入口室時(shí)，氣體純化間宜與氣體入口室合建；
      3 各類氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間(站)內(nèi)。若有特殊要求時(shí)，也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi)；
      4 氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點(diǎn)處。

10．2．4 進(jìn)入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過(guò)濾器、調(diào)壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線分析儀等，宜集中設(shè)置在氣體入口室。

10．2．5 氣體純化間(站)或氣體入口室內(nèi)，設(shè)有氫氣等可燃?xì)怏w純化裝置或管道時(shí)，氣體純化間(站)或氣體入口室的火災(zāi)危險(xiǎn)性應(yīng)按甲類確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 應(yīng)靠外墻設(shè)置，并應(yīng)設(shè)置防爆泄壓設(shè)施；
      2 氫氣等可燃?xì)怏w引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥；
      3 應(yīng)具有良好的自然通風(fēng)，并應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)裝置；
      4 應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警裝置，并應(yīng)與事故排風(fēng)裝置聯(lián)鎖；
      5 應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。

10．2．6 潔凈廠房?jī)?nèi)的氧氣管道等，應(yīng)采取下列安全技術(shù)措施：
      1 管道及閥門、附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)格的脫脂處理；
      2 應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施；
      3 氧氣引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥。

10．2．7 各種常用氣體的氣瓶庫(kù)應(yīng)集中設(shè)置在潔凈廠房外。當(dāng)日用氣量不超過(guò)1瓶時(shí)，氣瓶可設(shè)置在潔凈室(區(qū))內(nèi)，但應(yīng)采取不積塵和易于清潔的措施。

10．2．8 氣體管道和閥門應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇，宜符合下列規(guī)定：
      1 氣體純度大于或等于99.999999％時(shí)，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管，閥門應(yīng)采用隔膜閥；
      2 氣體純度大于或等于99．999％、露點(diǎn)低于-76℃時(shí)，宜采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管或內(nèi)壁電拋光的不銹鋼管，閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥；
      3 氣體純度大于或等于99．99％、露點(diǎn)低于-60℃時(shí)，宜采用內(nèi)壁拋光的不銹鋼管，除可燃?xì)怏w管道宜采用波紋管閥外，其余氣體管道宜采用球閥；
      4 氣體管道閥門、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。

10．2．9 氣體管道連接，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 管道連接應(yīng)采用焊接，
      2 不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊，宜采用自動(dòng)氬弧焊或等離子熔融對(duì)接焊；
      3 管道與設(shè)備或閥門的連接，宜采用表面密封的接頭或雙卡套，接頭或雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊；
      4 管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備連接的要求。當(dāng)采用軟管連接時(shí)，宜采用金屬軟管。

10．3 干燥壓縮空氣系統(tǒng)

10．3．1 潔凈廠房?jī)?nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定，
      1 供氣規(guī)模應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計(jì)入必要損耗量確定，并應(yīng)設(shè)有一定的備用供氣量；
      2 供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定；
      3 供氣系統(tǒng)可集中設(shè)置在潔凈廠房?jī)?nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動(dòng)力站；
      4 應(yīng)選用能耗少、噪聲低的設(shè)備，宜選用無(wú)油潤(rùn)滑空氣壓縮機(jī)；
      5 含水量要求嚴(yán)格時(shí)，宜選用加熱再生吸附干燥裝置。

10．3．2 干燥壓縮空氣管道內(nèi)輸送露點(diǎn)低于-76℃時(shí)，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋光低碳不銹鋼管或內(nèi)壁電拋光不銹鋼管；露點(diǎn)低于-40℃時(shí)，宜采用不銹鋼管或熱鍍鋅無(wú)縫鋼管。閥門宜采用波紋管閥或球閥。

10．3．3 管道連接應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 宜采用焊接，不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊；
      2 含水量露點(diǎn)嚴(yán)于-40℃時(shí)，用于管道連接的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊；
      3 當(dāng)采用軟管連接時(shí)，宜采用金屬軟管。

10．4 特種氣體系統(tǒng)

10．4．1 特種氣體應(yīng)采用外購(gòu)鋼瓶氣體、液態(tài)氣體供應(yīng)，在電子工廠內(nèi)應(yīng)設(shè)置儲(chǔ)存、分配系統(tǒng)。

10．4．2 潔凈廠房?jī)?nèi)特種氣體的儲(chǔ)存分配間應(yīng)采用耐火極限不低于2．0h不燃燒體的隔墻與潔凈室(區(qū))分隔，隔墻上的門窗應(yīng)為甲級(jí)防火門窗。

10．4．3 潔凈室(區(qū))內(nèi)可燃或有毒的特種氣體分配系統(tǒng)的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 特種氣體鋼瓶(含硅烷或硅烷混合物)應(yīng)設(shè)置在具有連續(xù)機(jī)械排風(fēng)的特氣柜中；
      2 排風(fēng)機(jī)、泄漏報(bào)警、自動(dòng)切斷閥均應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；
      3 一個(gè)特氣分配系統(tǒng)供多臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備使用時(shí)，應(yīng)設(shè)置多路閥門箱；
      4 可燃性、氧化性特種氣體管道的設(shè)置應(yīng)符合本規(guī)范第10．1和10．2節(jié)的有關(guān)規(guī)定。

10．4．4 特種氣體分配系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃盤，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 應(yīng)設(shè)置應(yīng)急切斷裝置；
      2 應(yīng)設(shè)置過(guò)流量控制裝置，
      3 應(yīng)設(shè)置手動(dòng)隔離閥；
      4 吹掃氣源不宜采用常用氣體系統(tǒng)；
      5 不相容特種氣體的吹掃盤不得共用吹掃氣瓶。

10．4．5 硅烷或硅烷混合物的氣瓶應(yīng)存放在潔凈廠房建筑外的儲(chǔ)存區(qū)內(nèi)。儲(chǔ)存區(qū)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 儲(chǔ)存區(qū)應(yīng)至少三面敞開(kāi)，氣瓶應(yīng)固定在鋼制框架上；
      2 氣瓶或氣瓶組與周圍的構(gòu)筑物或圍欄的間距應(yīng)大于3．0m；
      3 儲(chǔ)存區(qū)頂棚的高度應(yīng)大于3．5m。

11 化學(xué)品供應(yīng)

11．1 一般規(guī)定

11．1．1 潔凈廠房?jī)?nèi)化學(xué)品的儲(chǔ)存、輸送方式，應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和化學(xué)品的品質(zhì)、數(shù)量、物理化學(xué)特性等確定。

11．1．2 潔凈廠房?jī)?nèi)使用的各類化學(xué)品應(yīng)按照各自的物理化學(xué)特性分類和儲(chǔ)存，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《常用危險(xiǎn)化學(xué)品的分類及標(biāo)志》GB 13690的有關(guān)規(guī)定。

11．1．3 在潔凈室(區(qū))內(nèi)使用危險(xiǎn)化學(xué)品的生產(chǎn)設(shè)備或空間，應(yīng)采取相應(yīng)的安全保護(hù)措施。

11．2 化學(xué)品儲(chǔ)存、輸送

11．2．1 潔凈廠房?jī)?nèi)各種化學(xué)品儲(chǔ)存間(區(qū))的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 化學(xué)品儲(chǔ)存間(區(qū))的儲(chǔ)量不應(yīng)超過(guò)該化學(xué)品24h的消耗量；
      2 化學(xué)品應(yīng)按物化特性分類儲(chǔ)存；當(dāng)物化性質(zhì)不容許同庫(kù)儲(chǔ)存時(shí)，應(yīng)采用實(shí)體墻分隔；
      3 危險(xiǎn)化學(xué)品應(yīng)儲(chǔ)存在單獨(dú)的儲(chǔ)存間或儲(chǔ)存分配間內(nèi)，與相鄰房間應(yīng)采用耐火極限大于1．5h的隔墻分隔；
      4 危險(xiǎn)化學(xué)品儲(chǔ)存、分配間宜靠外墻布置；
      5 各類化學(xué)品儲(chǔ)存、分配間應(yīng)設(shè)置機(jī)械排風(fēng)。機(jī)械排風(fēng)應(yīng)采用應(yīng)急電源；
      6 易爆化學(xué)品儲(chǔ)存、分配間，應(yīng)采用不發(fā)生火花的防靜電地面；
      7 輸送易燃、易爆化學(xué)品的管道，應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施；
      8 接至用戶的輸送易燃、易爆化學(xué)品的總管上，應(yīng)設(shè)置自動(dòng)和手動(dòng)切斷閥。

11．2．2 潔凈廠房?jī)?nèi)采用容器傳送危險(xiǎn)化學(xué)品時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 嚴(yán)禁在出入口、疏散走廊儲(chǔ)存和分配危險(xiǎn)化學(xué)品。潔凈廠房?jī)?nèi)運(yùn)送易燃化學(xué)品的走廊應(yīng)設(shè)置自動(dòng)滅火系統(tǒng)；
      2 運(yùn)送危險(xiǎn)化學(xué)品的推車運(yùn)載量不得超過(guò)250L；單個(gè)容器的容量不應(yīng)超過(guò)20L；
      3 物理化學(xué)特性不相容的危險(xiǎn)化學(xué)品不得采用同一推車運(yùn)送。

11．2．3 當(dāng)采用壓力罐輸送危險(xiǎn)化學(xué)品時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 輸送系統(tǒng)設(shè)備、管道應(yīng)采用與所輸送的化學(xué)品相容的材質(zhì)；
      2 壓力罐應(yīng)設(shè)置減壓通風(fēng)口，減壓通風(fēng)口的排氣管應(yīng)接至安全區(qū)域；
      3 輸送系統(tǒng)應(yīng)只容許采用氮?dú)庠鰤海?/span>
      4 在分配和使用處應(yīng)設(shè)置手動(dòng)切斷閥；
      5 應(yīng)設(shè)置液位監(jiān)控和自動(dòng)關(guān)閉裝置，并應(yīng)設(shè)置溢流應(yīng)對(duì)設(shè)施。

11．2．4 危險(xiǎn)化學(xué)品的儲(chǔ)存、分配間應(yīng)設(shè)置排水系統(tǒng)，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 含可燃液體的排水，應(yīng)排入相關(guān)的生產(chǎn)排水管道，不得排入易產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)以及引起火災(zāi)或爆炸的排水管道；
      2 物理化學(xué)特性不相容的化學(xué)品，應(yīng)分別單獨(dú)設(shè)置排水系統(tǒng)。

11．2．5 液態(tài)危險(xiǎn)化學(xué)品的儲(chǔ)存、分配間，應(yīng)設(shè)置溢出保護(hù)設(shè)施，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 儲(chǔ)存罐或罐組應(yīng)設(shè)置保護(hù)堤，保護(hù)堤堤內(nèi)容積應(yīng)大于最大儲(chǔ)罐的容積或20min消防用水量；保護(hù)堤的高度不應(yīng)低于500mm；
      2 化學(xué)品相互接觸引起化學(xué)反應(yīng)的可燃液體儲(chǔ)罐或罐組之間，應(yīng)設(shè)置隔堤，隔堤不得滲漏；管道穿過(guò)隔堤時(shí)應(yīng)采用不燃材料密封。隔堤高度不應(yīng)低于400mm；
      3 應(yīng)設(shè)置液體泄露報(bào)警裝置；
      4 應(yīng)設(shè)置緊急淋浴和洗眼器。

11．3 管材、閥門

11．3．1 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用，應(yīng)按所輸送化學(xué)品的物理化學(xué)性質(zhì)確定，并應(yīng)選擇化學(xué)穩(wěn)定性能良好和相容性好的材料。

11．3．2 輸送腐蝕性化學(xué)品的管道，可直接采用非金屬管材，但應(yīng)設(shè)置保護(hù)套管。

11．3．3 化學(xué)品輸送管路系統(tǒng)，對(duì)多臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)化學(xué)品時(shí)，應(yīng)設(shè)置分配閥箱。

11．3．4 輸送有機(jī)溶劑的管道材質(zhì)，宜采用低碳不銹鋼管；輸送酸、堿類管道材質(zhì)，宜采用聚四氟乙烯。用于管道系統(tǒng)的墊片，宜采用氟橡膠或聚四氟乙烯。

11．3．5 用于化學(xué)品管路的閥門材質(zhì)應(yīng)與管道材質(zhì)一致。

12 電氣設(shè)計(jì)

12．1 配 電

12．1．1 潔凈廠房的用電負(fù)荷等級(jí)和供電要求，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及設(shè)備要求和現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50052的有關(guān)規(guī)定確定。

12．1．2 潔凈廠房低壓配電電壓等級(jí)應(yīng)符合生產(chǎn)工藝設(shè)備用電要求。帶電導(dǎo)體系統(tǒng)的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地型式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。

12．1．3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)用主要工藝設(shè)備，應(yīng)由專用變壓器或?qū)Ｓ玫蛪吼侂娋€路供電。對(duì)電源連續(xù)性有特殊要求的生產(chǎn)設(shè)備、動(dòng)力設(shè)備，宜設(shè)置不間斷電源或備用發(fā)電裝置等。在潔凈室(區(qū))內(nèi)宜設(shè)置獨(dú)立的檢修電源。

12．1．4 潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)(含制冷機(jī))，應(yīng)由變電所專線供電。

12．1．5 潔凈廠房的電源進(jìn)線(不包括消防電源進(jìn)線)應(yīng)設(shè)置手動(dòng)切斷裝置，手動(dòng)切斷裝置宜設(shè)置在潔凈室(區(qū))外便于操作管理的場(chǎng)所。

12．1．6 潔凈室(區(qū))內(nèi)的配電設(shè)備，應(yīng)選擇不易積塵、便于擦拭的小型、暗裝設(shè)備，不宜設(shè)置落地安裝的配電設(shè)備。配電設(shè)備宜設(shè)置在下技術(shù)夾層，并應(yīng)在頂部設(shè)擋水設(shè)施。

12．1．7 潔凈廠房的電氣管線宜敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，宜采用低煙、無(wú)鹵型電纜，穿線導(dǎo)管應(yīng)采用不燃材料。潔凈生產(chǎn)區(qū)的電氣管線宜暗敷，電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設(shè)備與墻體接縫處應(yīng)采取密封措施。

12．1．8 潔凈廠房?jī)?nèi)，可燃?xì)怏w或液體的儲(chǔ)存、分配間的電氣設(shè)計(jì)，應(yīng)根據(jù)可燃?xì)怏w或液體的特性確定，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。

12．2 照 明

12．2．1 潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用房間一般照明的照度值宜為300～500lx；輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200～300 lx。

12．2．2 對(duì)照度有特殊要求的電子產(chǎn)品生產(chǎn)部位應(yīng)設(shè)置局部照明，其照度值應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)操作的要求確定。

12．2．3 潔凈廠房備用照明的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 潔凈室(區(qū))內(nèi)應(yīng)設(shè)備用照明；
      2 備用照明宜作為正常照明的一部分，且不應(yīng)低于該場(chǎng)所一般照明照度值的20％；
      3 備用照明的電源宜由變電所專線供電。

12．2．4 潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明，其照度不應(yīng)低于5．0lx。在安全出入口、疏散通道或疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)設(shè)置疏散標(biāo)志。在專用消防口應(yīng)設(shè)置紅色應(yīng)急照明指示燈。

12．2．5 潔凈室(區(qū))內(nèi)照明光源，宜采用高效熒光燈。對(duì)有感光度要求的生產(chǎn)場(chǎng)所，宜采用黃色光源。

12．2．6 潔凈室(區(qū))內(nèi)一般照明燈具的選擇與布置，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 潔凈室(區(qū))內(nèi)宜采用吸頂明裝、不易積塵、便于清潔的潔凈燈具；
      2 空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于或等于5級(jí)的潔凈室(區(qū))，宜采用淚珠型燈具；

      3 當(dāng)采用嵌入式燈具時(shí)，其安裝縫隙應(yīng)采取密封措施；
      4 潔凈室(區(qū))內(nèi)燈具的布置，不應(yīng)影響氣流流型，并應(yīng)與送風(fēng)口協(xié)調(diào)布置。

12．3 通信與安全保護(hù)裝置

12．3．1 潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置通信設(shè)施，通信設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：
      1 潔凈室(區(qū))內(nèi)應(yīng)設(shè)置內(nèi)外聯(lián)系的通信設(shè)施。每個(gè)工序宜設(shè)置有線語(yǔ)音插座；
      2 潔凈室(區(qū))內(nèi)設(shè)置的無(wú)線通信系統(tǒng)，不得對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備造成干擾；
      3 數(shù)據(jù)通信裝置應(yīng)根據(jù)管理及電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置；
      4 通信線路宜采用綜合布線系統(tǒng)，綜合布線系統(tǒng)的配線間不應(yīng)設(shè)在潔凈室(區(qū))內(nèi)。

12．3．2 潔凈廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)，其防護(hù)等級(jí)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定。當(dāng)防火分區(qū)面積超過(guò)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016規(guī)定的最大建筑面積允許值時(shí)，保護(hù)等級(jí)應(yīng)為一級(jí)。

12．3．3 潔凈廠房的消防控制室不應(yīng)設(shè)在潔凈室(區(qū))內(nèi)。消防專用電話總機(jī)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范3GB 50116的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)在下列場(chǎng)所設(shè)置消防專用電話：
      1 潔凈室(區(qū))的入口處；
      2 應(yīng)急處理中心；
      3 中央控制室；
      4 特種氣體管理室。

12．3．4 潔凈廠房?jī)?nèi)火災(zāi)探測(cè)器的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定．
      1 潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層、機(jī)房、站房等均應(yīng)設(shè)置火災(zāi)探測(cè)器，其中潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)置智能型探測(cè)器；
      2 當(dāng)潔凈廠房防火分區(qū)面積超過(guò)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的規(guī)定時(shí)或頂部安裝點(diǎn)式探測(cè)器不能滿足現(xiàn)行規(guī)范設(shè)計(jì)要求時(shí)，在潔凈室(區(qū))內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風(fēng)前的回風(fēng)氣流中應(yīng)設(shè)置靈敏度嚴(yán)于0．01％obs／m的早期煙霧報(bào)警探測(cè)器；
      3 硅烷儲(chǔ)存、分配間(區(qū))，應(yīng)設(shè)置紅外線-紫外線火焰探測(cè)器；
      4 潔凈生產(chǎn)區(qū)、走道和技術(shù)夾層(不包括不通行的技術(shù)夾層)應(yīng)設(shè)置手動(dòng)報(bào)警按鈕和聲光報(bào)警裝置。

12．3．5 潔凈廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警及消防聯(lián)動(dòng)控制?？刂圃O(shè)備的控制及顯示功能應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定，潔凈室(區(qū))火災(zāi)報(bào)警應(yīng)進(jìn)行核實(shí)，當(dāng)確認(rèn)火災(zāi)后，在消防控制室應(yīng)對(duì)下列各項(xiàng)進(jìn)行手動(dòng)控制：
      1 關(guān)閉有關(guān)部位的電動(dòng)防火閥，停止相應(yīng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)機(jī)、排風(fēng)機(jī)和新風(fēng)機(jī)，并接收其反饋信號(hào)；
      2 啟動(dòng)排煙風(fēng)機(jī)，并接收其反饋信號(hào)；
      3 在消防控制室或低壓配電室，手動(dòng)切斷有關(guān)部位的非消防電源。

12．3．6 潔凈廠房?jī)?nèi)下列場(chǎng)所應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警裝置：
      1 易燃、易爆、有毒氣體的儲(chǔ)存分配間(區(qū))；
      2 易燃、易爆、有毒氣體的氣瓶柜和分配閥門箱內(nèi)；
      3 工藝設(shè)備的氣體分配箱和排風(fēng)管內(nèi)。

12．3．7 潔凈廠房?jī)?nèi)氣體報(bào)警裝置的聯(lián)動(dòng)控制，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 應(yīng)自動(dòng)啟動(dòng)相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置；
      2 應(yīng)自動(dòng)關(guān)閉相關(guān)部位的進(jìn)氣閥；
      3 應(yīng)自動(dòng)關(guān)閉相關(guān)部位的電動(dòng)防火門、防火卷簾門；
4 報(bào)警信號(hào)應(yīng)發(fā)送至消防控制室和氣體控制室。應(yīng)自動(dòng)啟動(dòng)泄漏現(xiàn)場(chǎng)的聲光警報(bào)裝置和應(yīng)急廣播。

12．3．8 潔凈廠房?jī)?nèi)易燃、易爆、有毒氣體泄漏報(bào)警值應(yīng)為其爆炸下限值或允許濃度值的20％。

12．3．9 潔凈廠房設(shè)置的事故應(yīng)急廣播系統(tǒng)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定。潔凈室(區(qū))內(nèi)應(yīng)采用不影響空氣潔凈度等級(jí)的揚(yáng)聲器。

12．3．10 潔凈廠房?jī)?nèi)的安全保護(hù)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。

12．3．11 潔凈室(區(qū))火災(zāi)報(bào)警、氣體泄漏報(bào)警系統(tǒng)的控制、通訊和警報(bào)線路應(yīng)采用阻燃型電纜，電纜敷設(shè)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定。

12．3．12 潔凈廠房?jī)?nèi)的各類安全保護(hù)系統(tǒng)均應(yīng)可靠接地，系統(tǒng)接地應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定。

12．4 自動(dòng)控制

12．4．1 潔凈廠房的自動(dòng)控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開(kāi)放和可擴(kuò)展性。

12．4．2 潔凈廠房應(yīng)對(duì)凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)監(jiān)控。

12．4．3 潔凈室(區(qū))內(nèi)外的壓差監(jiān)測(cè)，宜采用壓差變送器通過(guò)控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室(區(qū))的送風(fēng)量或回風(fēng)量。

12．4．4 凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時(shí)，電加熱器與風(fēng)機(jī)應(yīng)聯(lián)鎖控制，并應(yīng)設(shè)置無(wú)風(fēng)、超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)；當(dāng)采用電加濕器時(shí)，應(yīng)設(shè)置無(wú)水、無(wú)風(fēng)斷電保護(hù)。

12．4．5 在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對(duì)風(fēng)機(jī)、水泵等動(dòng)力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。

12．5 接 地

12．5．1 功能性接地、保護(hù)性接地、電磁兼容性接地、建筑防雷接地宜采用共用接地系統(tǒng)。接地電阻值應(yīng)按其中最小值確定，且不應(yīng)大于1Ω。

12．5．2 當(dāng)電子設(shè)備的功能接地要求分開(kāi)設(shè)置時(shí)，應(yīng)設(shè)有防止雷電反擊設(shè)施。分開(kāi)設(shè)置的接地系統(tǒng)接地極應(yīng)與共用接地系統(tǒng)接地極保持20m以上的間距。

12．5．3 潔凈廠房防雷接地設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50057的有關(guān)規(guī)定。

13 防靜電與接地設(shè)計(jì)

13．1 一般規(guī)定

13．1．1 潔凈廠房應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置防靜電環(huán)境。防靜電環(huán)境設(shè)計(jì)應(yīng)滿足抑制或減少靜電的產(chǎn)生，以及將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全、有效地排除的要求。

13．1．2 防靜電環(huán)境設(shè)計(jì)應(yīng)按電子產(chǎn)品或生產(chǎn)工序(設(shè)備)進(jìn)行分級(jí)。防靜電環(huán)境內(nèi)靜電電位絕對(duì)值應(yīng)小于電子產(chǎn)品的靜電電位安全值。防靜電環(huán)境設(shè)計(jì)應(yīng)分為三級(jí)，防靜電環(huán)境設(shè)計(jì)分級(jí)適用場(chǎng)所應(yīng)符合表13．1．2的要求。

13．2 防靜電措施

13．2．1 潔凈廠房防靜電環(huán)境中，防靜電地面的面層結(jié)構(gòu)和材料應(yīng)符合下列要求：
      1 防靜電地面面層的選擇，應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求；
      2 防靜電地面的表層應(yīng)采用靜電耗散性材料，靜電耗散性材料表面電阻率應(yīng)為2．5×104～1×109Ω；
      3 防靜電地面應(yīng)設(shè)置導(dǎo)靜電泄放設(shè)施和接地連接，其地面對(duì)地泄放電阻值應(yīng)為1×105～1×108Ω。

13．2．2 潔凈廠房防靜電環(huán)境的吊頂、墻面和柱面的裝飾設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求：
      1 一級(jí)防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面應(yīng)采用導(dǎo)靜電型。導(dǎo)靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對(duì)地電阻應(yīng)為2．5×104～1×106Ω，摩擦起電電壓不應(yīng)大于100V，靜電半衰期不應(yīng)大于0．1s；
      2 二級(jí)防靜電工作區(qū)的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應(yīng)采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門的表面電阻、對(duì)地電阻應(yīng)為1×106～1×109Ω，摩擦起電電壓不應(yīng)大于200V，靜電半衰期不應(yīng)大于1s，但軟簾的摩擦起電電壓不應(yīng)大于300V；
      3 三級(jí)防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面宜根據(jù)生產(chǎn)工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料，頂棚、門等宜采用低起電材料。選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面，應(yīng)符合本條第2款的要求；選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應(yīng)大于1000V。

13．2．3 潔凈廠房防靜電環(huán)境的門窗設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求：
      1 應(yīng)選用靜電耗散材料制作門窗或采用耗散材料貼面；
      2 金屬門窗表面應(yīng)涂刷靜電耗散性涂層，并應(yīng)接地；
      3 室內(nèi)隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時(shí)，玻璃表面應(yīng)粘貼靜電耗散性透明薄膜或噴涂靜電耗散性涂層。

13．2．4 潔凈廠房防靜電環(huán)境的裝修設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求：
      1 各類裝修材料應(yīng)具有表面靜電耗散性能，不得使用未經(jīng)表面改性處理的高分子絕緣的裝飾材料；
      2 各類裝修的飾面應(yīng)平整光滑。

13．2．5 潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)口和風(fēng)管，應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作，并應(yīng)接地。

13．2．6 潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時(shí)，應(yīng)在其表面安裝金屬網(wǎng)，并應(yīng)將其接地。當(dāng)使用導(dǎo)電性橡膠軟管時(shí)，應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的金屬導(dǎo)體，并應(yīng)采用接地引線與其可靠連接接地。

13．2．7 潔凈廠房防靜電環(huán)境中，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置靜電消除器、防靜電安全工作臺(tái)。

13．3 防靜電接地

13．3．1 潔凈廠房?jī)?nèi)金屬物體包括潔凈室(區(qū))的墻面、門窗、吊頂?shù)慕饘俟羌?，?yīng)與接地系統(tǒng)做可靠連接，導(dǎo)靜電地面、活動(dòng)地板、工作臺(tái)面、座椅等應(yīng)做靜電接地。

13．3．2 靜電接地的連接線應(yīng)有足夠的機(jī)械強(qiáng)度和化學(xué)穩(wěn)定性，其主干線截面不應(yīng)小于95mm2 ，支線最小截面應(yīng)為2．5mm2 。

13．3．3 與人體接觸的靜電接地應(yīng)串接限流電阻，限流電阻的阻值宜為1MΩ。

13．3．4 對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道，應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。

14 噪聲控制

14．1 一般規(guī)定

14．1．1 潔凈廠房的噪聲控制，應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)的要求，并應(yīng)保持工作人員具有舒適、安全的環(huán)境。

14．1．2 潔凈廠房的噪聲控制設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)企業(yè)噪聲控制設(shè)計(jì)規(guī)范》GBJ 87的有關(guān)規(guī)定。

14．1．3 潔凈室(區(qū))的噪聲控制設(shè)計(jì)的噪聲級(jí)(空態(tài))應(yīng)符合本規(guī)范第3．2．5條的規(guī)定。

14．1．4 潔凈室(區(qū))的噪聲頻譜限制值，應(yīng)采用倍頻程聲壓級(jí)，各頻帶聲壓級(jí)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

14．2 噪聲控制設(shè)計(jì)

14．2．1 潔凈廠房的平面、空間布置時(shí)，應(yīng)根據(jù)噪聲控制要求布置，宜集中布置發(fā)聲設(shè)備。

14．2．2 潔凈室(區(qū))內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對(duì)于輻射噪聲值超過(guò)規(guī)定的設(shè)備，應(yīng)根據(jù)設(shè)備的特性、外形尺寸等因素，采取降低聲源噪聲的隔聲設(shè)施。潔凈室的圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)具有良好的隔聲性能。

14．2．3 凈化空調(diào)系統(tǒng)、公用動(dòng)力設(shè)備和輸送管道等潔凈廠房的主要噪聲源，應(yīng)采取隔聲、消聲、隔振等噪聲控制措施?？照{(diào)機(jī)房、動(dòng)力站房宜采取下列措施：
      1 圍護(hù)結(jié)構(gòu)宜采取吸聲和隔聲處理；
      2 對(duì)輻射噪聲值超過(guò)規(guī)定的設(shè)備，應(yīng)設(shè)置隔聲屏、隔聲罩或懸掛吸聲體等；
      3 機(jī)房、站房?jī)?nèi)控制室的圍護(hù)結(jié)構(gòu)，宜采用隔聲性能良好的材料。

14．2．4 潔凈室(區(qū))內(nèi)的各類排風(fēng)系統(tǒng)(不包括事故排風(fēng)系統(tǒng))應(yīng)設(shè)置消聲器等降噪設(shè)施。

15 微振控制

15．1 一般規(guī)定

15．1．1 潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計(jì)應(yīng)分階段進(jìn)行，應(yīng)包括設(shè)計(jì)、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動(dòng)測(cè)試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計(jì)、動(dòng)力設(shè)備隔振設(shè)計(jì)和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計(jì)等。

15．1．2 設(shè)計(jì)有微振控制要求的潔凈廠房時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 總平面布置時(shí)，應(yīng)核實(shí)相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對(duì)精密設(shè)備、儀器的振動(dòng)影響；
      2 設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì)；
      3 對(duì)設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室(區(qū))有振動(dòng)影響的動(dòng)力設(shè)備及其管道，應(yīng)采取主動(dòng)隔振措施；
      4 潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備、儀器，經(jīng)測(cè)試確認(rèn)受到周圍振動(dòng)影響時(shí)，應(yīng)采取被動(dòng)隔振措施。

15．2 容許振動(dòng)值

15．2．1 微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)精密儀器、設(shè)備的特性，采取綜合隔振措施，并應(yīng)滿足容許振動(dòng)值的要求。

15．2．2 精密設(shè)備、儀器的容許振動(dòng)值物理量的表述，應(yīng)采用時(shí)間域或頻率域的振動(dòng)加速度、振動(dòng)速度和振動(dòng)位移等。

15．2．3 精密儀器、設(shè)備的容許振動(dòng)值，應(yīng)由制造商提供。無(wú)法確定時(shí)，可按本規(guī)范附錄C或根據(jù)其工作特性確定。

15．3 微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)

15．3．1 潔凈廠房的微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)，應(yīng)按下列階段進(jìn)行微振動(dòng)測(cè)試分析。
      1 場(chǎng)地環(huán)境振動(dòng)測(cè)試及分析；
      2 潔凈廠房建筑結(jié)構(gòu)振動(dòng)特性測(cè)試及分析；
      3 精密設(shè)備、儀器安裝地點(diǎn)環(huán)境振動(dòng)測(cè)試及分析；
      4 微振動(dòng)控制的最終測(cè)試及分析。

15．3．2 有微振動(dòng)控制要求的潔凈室(區(qū))，其建筑結(jié)構(gòu)的微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 建筑物基礎(chǔ)宜置于動(dòng)力性能良好的地基土上，且基礎(chǔ)應(yīng)有足夠剛度；
      2 應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的建筑結(jié)構(gòu)微振動(dòng)控制體系，并應(yīng)與廠房主體結(jié)構(gòu)分隔；
      3 主體結(jié)構(gòu)應(yīng)根據(jù)微振動(dòng)控制的要求，適當(dāng)加大梁、柱、墻、基礎(chǔ)等截面尺寸。

15．3．3 有強(qiáng)烈振動(dòng)的設(shè)備和管道，宜采取主動(dòng)隔振措施，并應(yīng)符合下列要求．
      1 宜采用隔振臺(tái)(座)；
      2 應(yīng)選用剛度適當(dāng)?shù)母粽衿鳎?/span>
      3 通往潔凈室(區(qū))的管道，宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。

15．3．4 潔凈室內(nèi)精密設(shè)備、儀器的被動(dòng)隔振措施的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求：
      1 隔振臺(tái)(座)應(yīng)具有足夠的剛度；
      2 應(yīng)采用低剛度隔振設(shè)施；
      3 隔振系統(tǒng)各向阻尼比不應(yīng)小于0．15；
      4 隔振臺(tái)(座)應(yīng)采取傾斜校正措施；
      5 隔振設(shè)施不應(yīng)影響氣流流型，
      6 當(dāng)采用空氣彈簧隔振器時(shí)，其供氣系統(tǒng)應(yīng)進(jìn)行凈化處理，并應(yīng)達(dá)到潔凈室空氣潔凈度等級(jí)的要求。

附錄A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)空氣潔凈度等級(jí)的要求

附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間／工序的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類舉例

      注 ① 表中房間在設(shè)備密閉性良好，并設(shè)有氣體或可燃蒸氣報(bào)警裝置和滅火裝置時(shí)，應(yīng)按丙類設(shè)防，否則仍應(yīng)按甲類設(shè)防。
      ② 屏錐加工車間中低熔點(diǎn)玻璃配制和低熔點(diǎn)玻璃涂復(fù)間面積超過(guò)本層或防火分區(qū)總面積5％時(shí)，生產(chǎn)類別應(yīng)為乙類設(shè)防。
      ③ 光纜外皮采用發(fā)泡塑料時(shí)，該生產(chǎn)線應(yīng)為丙類。

附錄C 精密儀器、設(shè)備的容許振動(dòng)值舉例

附錄D 潔凈室(區(qū))性能測(cè)試和認(rèn)證

D．1 通 則

D．1．1 潔凈室(區(qū))應(yīng)定期進(jìn)行性能測(cè)試。以認(rèn)證潔凈室(區(qū))始終符合本規(guī)范的要求。

D．1．2 潔凈室(區(qū))性能測(cè)試認(rèn)證工作，應(yīng)由專門檢測(cè)認(rèn)證單位承擔(dān)，并應(yīng)提交檢測(cè)報(bào)告。

D．1．3 測(cè)試和認(rèn)證工作之前，系統(tǒng)應(yīng)達(dá)到穩(wěn)定運(yùn)行。測(cè)試儀表應(yīng)在標(biāo)定證書有效使用期內(nèi)。

D．1．4 潔凈室(區(qū))的占用狀態(tài)應(yīng)有空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)，其性能測(cè)試和認(rèn)證宜為靜態(tài)或動(dòng)態(tài)。

D．2 潔凈室(區(qū))性能測(cè)試要求

D．2．1 確認(rèn)潔凈室(區(qū))符合本規(guī)范要求，應(yīng)進(jìn)行下列基本測(cè)試：
      1 空氣潔凈度等級(jí)測(cè)定；
      2 靜壓差；
      3 風(fēng)速或風(fēng)量。

D．2．2 空氣潔凈度等級(jí)、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量的認(rèn)證測(cè)試的最長(zhǎng)時(shí)間間隔應(yīng)符合表D．2．2—1和表D．2．2—2的規(guī)定。

      注1 若潔凈室(區(qū))運(yùn)行中已對(duì)粒子濃度、風(fēng)速、靜壓差進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測(cè)，且其測(cè)試值均符合本規(guī)范要求時(shí)，認(rèn)證的測(cè)試時(shí)間間隔可延長(zhǎng)。具體間隔時(shí)間，可與認(rèn)證單位洽商。

      2 空氣潔凈度等級(jí)認(rèn)證，可在靜態(tài)或動(dòng)態(tài)檢測(cè)，洽商確定，
      3 風(fēng)量測(cè)定，應(yīng)采用風(fēng)速計(jì)在風(fēng)口或風(fēng)管測(cè)定。

D．2．3 電子工業(yè)潔凈室(區(qū))的認(rèn)證測(cè)試，除空氣潔凈度等級(jí)、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量測(cè)試外，還應(yīng)根據(jù)需要進(jìn)行表D．2．3規(guī)定的洽商選擇測(cè)試項(xiàng)目。

D．3 潔凈室測(cè)試方法

D．3．1 風(fēng)量或風(fēng)速測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 對(duì)于單向流潔凈室，應(yīng)采用截面平均風(fēng)速和截面乘積的方法確定送風(fēng)量，并應(yīng)取離高效過(guò)濾器300mm垂直于氣流的截面作為測(cè)試平面。應(yīng)將測(cè)試平面分成相等的柵格，每個(gè)柵格尺寸應(yīng)為600mm×600mm或末端空氣過(guò)濾器尺寸，測(cè)點(diǎn)應(yīng)在柵格中心或不應(yīng)少于3點(diǎn)。每一點(diǎn)的測(cè)試時(shí)間不應(yīng)少于10s。應(yīng)記錄平均值、最大值和最小值，并應(yīng)以算術(shù)平均值作為平均風(fēng)速。
      2 對(duì)于非單向流潔凈室，每一點(diǎn)的測(cè)試時(shí)間不應(yīng)少于10s。
      3 在每個(gè)末端空氣過(guò)濾器或散流器處，應(yīng)采用風(fēng)口法、風(fēng)管法、風(fēng)罩法等測(cè)量送風(fēng)風(fēng)速確定送風(fēng)量，每個(gè)測(cè)試位置的測(cè)點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于3點(diǎn)。

D．3．2 靜壓差測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 靜壓差的測(cè)定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時(shí)進(jìn)行。
      2 儀器宜采用各種型式的微壓計(jì)，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。
      3 潔凈廠房有多個(gè)潔凈室(區(qū))時(shí)，應(yīng)從最里面的房間與相鄰房間的壓差測(cè)試開(kāi)始，并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測(cè)。

D．3．3 已安裝的空氣過(guò)濾器泄漏測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 儀器應(yīng)使用采樣量大于1 l／mm的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。
      2 應(yīng)在過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0．1μm(0．5μm)粒子，粒子濃度應(yīng)大于3．5×107P／m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過(guò)濾器表面20～30mm處，并應(yīng)以5～20mm／s速度移動(dòng)。應(yīng)檢測(cè)包括過(guò)濾器的整個(gè)面和過(guò)濾器周邊、過(guò)濾器框架及其密封處的掃描。

D．3．4 潔凈度的檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 應(yīng)使用采樣量大于1 l／min光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器，應(yīng)根據(jù)粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計(jì)數(shù)效率等要求選用儀器。儀器應(yīng)有有效的標(biāo)定合格證書。
      2 最少采樣點(diǎn)應(yīng)按下式計(jì)算：
NL＝A0.5 (D．3．4—1)
式中 NL——最少采樣點(diǎn)；
A——潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積(㎡)。
采樣點(diǎn)應(yīng)均勻分布于潔凈室(區(qū))的整個(gè)面積內(nèi)，并應(yīng)位于工作區(qū)的高度。
      3 每一采樣點(diǎn)的每次采樣量應(yīng)按下式確定：

      4 當(dāng)潔凈室(區(qū))僅有一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí)，則在該點(diǎn)應(yīng)至少采樣3次。

D．3．5 氣流流型的檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 氣流流型的檢測(cè)，宜采用氣流目測(cè)法。
      2 氣流目測(cè)法有示蹤線法、示蹤劑注入法，并應(yīng)用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應(yīng)成為潔凈室(區(qū))的一種污染源。
      3 示蹤線法應(yīng)為通過(guò)觀察放置在測(cè)試桿末端或氣流中細(xì)鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等，直接目測(cè)得到氣流方向或因干擾引起的波動(dòng)。
      4 示蹤劑注入法，可采用純水噴霧或化學(xué)法生成的乙醇／正二醇等示蹤劑粒子的特性，在高強(qiáng)度光源下進(jìn)行觀察或做成圖像。
      5 應(yīng)采用圖像處理技術(shù)進(jìn)行氣流目測(cè)，本法一般是與示蹤法結(jié)合，將在攝像機(jī)或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。
      6 氣流目測(cè)的測(cè)點(diǎn)位置、儀器等，應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))的具體條件洽商確定。

D．3．6 溫度、相對(duì)濕度的檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 溫度、相對(duì)濕度的檢測(cè)應(yīng)在潔凈室(區(qū))內(nèi)氣流分布均勻狀態(tài)測(cè)試，并應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后安排進(jìn)行。溫度、相對(duì)濕度檢測(cè)應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)運(yùn)轉(zhuǎn)，并應(yīng)至少穩(wěn)定運(yùn)行1．0h后進(jìn)行。
      2 相對(duì)濕度檢測(cè)應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積網(wǎng)格，每格最大面積應(yīng)為100㎡，應(yīng)每格一個(gè)測(cè)點(diǎn)，但每個(gè)房間不應(yīng)少于2個(gè)測(cè)點(diǎn)。
      3 檢測(cè)用探測(cè)器應(yīng)設(shè)在潔凈室(區(qū))內(nèi)的工作高度，且距潔凈室(區(qū))的吊頂、墻和地面不應(yīng)少于300mm。并應(yīng)考量潔凈室(區(qū))內(nèi)可能存在的熱源的影響。
      4 檢測(cè)時(shí)間應(yīng)至少1．0h，并應(yīng)至少6mm進(jìn)行1次(30s)讀數(shù)、記錄。

D．3．7 噪聲檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測(cè)應(yīng)采用帶倍頻程分析的聲級(jí)計(jì)。
      2 潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測(cè)點(diǎn)宜距地面1．1～1．5m，距墻應(yīng)大于3m；檢測(cè)點(diǎn)的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分，宜每100m2設(shè)一檢測(cè)點(diǎn)。

D．3．8 照度測(cè)試，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 潔凈室(區(qū))內(nèi)照度檢測(cè)宜采用便攜式自動(dòng)記錄照度計(jì)。
      2 照度檢測(cè)應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進(jìn)行。潔凈室(區(qū))照度檢測(cè)不應(yīng)包括生產(chǎn)設(shè)備等的局部照明和備用照明。
      3 照度檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)設(shè)在工作高度，宜距地面0．85m，應(yīng)每25㎡設(shè)一個(gè)測(cè)點(diǎn)。

D．3．9 微振檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 潔凈室(區(qū))內(nèi)有微振控制要求的場(chǎng)所的檢測(cè)，應(yīng)采用符合精密設(shè)備、儀器容許振動(dòng)值要求的微振測(cè)試分析系統(tǒng)進(jìn)行分階段測(cè)試。
      2 微振檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))內(nèi)需進(jìn)行微振控制的精密設(shè)備、儀器的布置和微振控制設(shè)計(jì)的要求設(shè)置，一般檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)設(shè)在微振控制相關(guān)的地面、樓面、基礎(chǔ)面等。
      3 微振控制的檢測(cè)應(yīng)由具有相應(yīng)資質(zhì)的單位進(jìn)行。現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)數(shù)據(jù)等應(yīng)經(jīng)過(guò)科學(xué)分析后，提供微振控制檢測(cè)報(bào)告，應(yīng)包括檢測(cè)數(shù)據(jù)的分析、結(jié)論等。

D．3．10 自凈時(shí)間檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 自凈時(shí)間的檢測(cè)，宜用于非單向流潔凈室。
      2 自凈時(shí)間的檢測(cè)，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn)，并宜以粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測(cè)，同時(shí)應(yīng)符合下列要求。
      1)以大氣塵為基準(zhǔn)時(shí)，則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時(shí)間，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時(shí)，測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N0)。然后開(kāi)機(jī)，定時(shí)讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次)，直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來(lái)的穩(wěn)定狀態(tài)，記錄下所需的時(shí)間(t)。
      2)以人工塵源為基準(zhǔn)時(shí)，應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1．8m以上室中心，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min，測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N0)。然后開(kāi)機(jī)，方法同上。
      3 由初始濃度(N0)、室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度(N)、實(shí)際換氣次數(shù)(n)，可得到計(jì)算自凈時(shí)間(t0)，與實(shí)測(cè)自凈時(shí)間(t)進(jìn)行對(duì)比，如果t≤1. 2t0，為合格。
      4 自凈時(shí)間檢測(cè)方法除上述方法外，還有微粒濃度變化率評(píng)估法等。自凈時(shí)間檢測(cè)方法應(yīng)洽商確定。

D．3．11 密閉性檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 密閉性檢測(cè)或稱抑制滲漏測(cè)試，是測(cè)定潔凈室(區(qū))有無(wú)受污染的空氣從周圍具有相同或不相同靜壓的較低潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))或非潔凈室(區(qū))侵入。本檢測(cè)一般用于ISO 1～5級(jí)潔凈室(區(qū))。
      2 采用粒子計(jì)數(shù)器法檢測(cè)潔凈室(區(qū))的密閉性，檢測(cè)時(shí)應(yīng)先測(cè)量緊靠被測(cè)圍護(hù)結(jié)構(gòu)表面外部的懸浮粒子濃度，一般此濃度應(yīng)比潔凈室(區(qū))內(nèi)濃度大104，并大于等于3. 5×106個(gè)／m3待測(cè)粒徑的粒子。
      3 潔凈室(區(qū))的施工接縫，包括對(duì)墻板、吊頂?shù)慕涌p和管線、燈具等的接縫的滲漏檢測(cè)，應(yīng)在被測(cè)部位的50～100mm處掃描，其掃描速度為50mm／s。
潔凈室敞開(kāi)門處的滲漏檢測(cè)，應(yīng)在距離門0．3～3．0m處測(cè)定潔凈室內(nèi)的懸浮粒子濃度。
記錄并報(bào)告比測(cè)得的外部相同粒徑粒子濃度大于10-3倍的讀數(shù)和位置。

D．4 認(rèn) 證

D．4．1 潔凈廠房性能測(cè)試認(rèn)證前，應(yīng)由業(yè)主與認(rèn)證單位簽訂協(xié)議書，協(xié)議書中應(yīng)明確檢測(cè)項(xiàng)目、測(cè)點(diǎn)位置及數(shù)量、測(cè)量要求和限值等，如測(cè)量空氣懸浮粒子濃度采樣點(diǎn)數(shù)、每次最少的空氣采樣量、采樣時(shí)間、每個(gè)采樣點(diǎn)的測(cè)量次數(shù)、測(cè)量時(shí)間間隔、被計(jì)數(shù)粒子的粒徑，以及粒子數(shù)的限值等。

D．4．2 按協(xié)議書規(guī)定及本附錄第D．2節(jié)的要求，以及本附錄第D．3節(jié)的方法進(jìn)行測(cè)試，若測(cè)試結(jié)果在規(guī)定的限值之內(nèi)，說(shuō)明該潔凈室(區(qū))符合規(guī)定要求。若測(cè)試結(jié)果超過(guò)規(guī)定的限值，說(shuō)明該潔凈室(區(qū))不符合要求，應(yīng)進(jìn)行改進(jìn)，在完成改進(jìn)工作之后，應(yīng)進(jìn)行再認(rèn)證。

D．4．3 每次性能測(cè)試或再認(rèn)證測(cè)試應(yīng)作記錄，并提交性能合格或不合格的綜合報(bào)告。測(cè)試報(bào)告應(yīng)包括下列內(nèi)容：
      1 測(cè)試機(jī)構(gòu)的名稱、地址；
      2 測(cè)試日期和測(cè)試者簽名；
      3 執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的編號(hào)及標(biāo)準(zhǔn)出版日期；
      4 被測(cè)試潔凈室(區(qū))的地址、測(cè)試項(xiàng)目、測(cè)點(diǎn)的特定編號(hào)及坐標(biāo)圖；
      5 被測(cè)潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級(jí)、被測(cè)粒徑、被測(cè)潔凈室(區(qū))所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差、全部采樣點(diǎn)坐標(biāo)圖上注明所測(cè)的粒子濃度；
      6 測(cè)量用儀器的編號(hào)和標(biāo)定證書；測(cè)試方法細(xì)則及測(cè)試中特殊情況，
      7 測(cè)試結(jié)果包括所有測(cè)試項(xiàng)目的記錄數(shù)據(jù)、分析結(jié)論等；
      8 對(duì)異常測(cè)試值進(jìn)行說(shuō)明及數(shù)據(jù)處理；
      9 注明上次的測(cè)試日期，
      10 設(shè)施的測(cè)試檔案可作為下次檢測(cè)計(jì)劃的依據(jù)。

D．4．4 測(cè)試機(jī)構(gòu)應(yīng)提交潔凈室檢驗(yàn)證書、再檢驗(yàn)證書。

D．5 記 錄

D．5．1 記錄保存應(yīng)符合質(zhì)量控制程序的要求。

D．5．2 應(yīng)按常規(guī)或定期的測(cè)試方法和儀表檢測(cè)，將初始觀察記錄、計(jì)算、數(shù)據(jù)處理和最終報(bào)告，以及測(cè)試評(píng)價(jià)、報(bào)告人員簽名和日期

本規(guī)范用詞說(shuō)明

1 為便于在執(zhí)行本規(guī)范條文時(shí)區(qū)別對(duì)待，對(duì)要求嚴(yán)格程度不同的用詞說(shuō)明如下：
      1)表示很嚴(yán)格，非這樣做不可的用詞
正面詞采用“必須”，反面詞采用“嚴(yán)禁”。
      2)表示嚴(yán)格，在正常情況下均應(yīng)這樣做的用詞．
正面詞采用“應(yīng)”，反面詞采用“不應(yīng)”或“不得”。
      3)表示允許稍有選擇，在條件許可時(shí)首先應(yīng)這樣做的用詞：
      正面詞采用“宜”，反面詞采用“不宜”，
      表示有選擇，在一定條件下可以這樣做的用詞，采用“可”。

2 本規(guī)范中指明應(yīng)按其他有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范執(zhí)行的寫法為“應(yīng)符合．．．．．．的規(guī)定”或“應(yīng)按．．．．．．執(zhí)行”。